최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-7013440 (2015-05-21) | |
공개번호 | 10-2015-0070399 (2015-06-24) | |
등록번호 | 10-1982379-0000 (2019-05-20) | |
우선권정보 | 미국(US) 61/718,184 (2012-10-24);미국(US) 13/743,304 (2013-01-16) | |
국제출원번호 | PCT/US2013/066677 (2013-10-24) | |
국제공개번호 | WO 2014/066679 (2014-05-01) | |
번역문제출일자 | 2015-05-21 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020157013440 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2018-10-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
다양한 고 종횡비 및 대 횡측 치수 구조물들을 위한 계측 시스템 및 방법이 제공된다.하나의 방법은 웨이퍼 상에 형성된 하나 이상의 구조물들에 광을 조사하는 단계를 포함한다.광은 자외선 광, 가시 광, 및 적외선 광을 포함한다.하나 이상의 구조물들은 적어도 하나의 고 종횡비 구조물 또는 하나 이상의 대 측면 치수 구조물을 포함한다.본 방법은 또한 하나 이상의 구조물들에 조사된 광에 기인하여 하나 이상의 구조물들로부터의 광에 응답한 출력을 생성하는 단계를 포함한다.또한, 본 방법은 출력을 이용하여 하나 이상의 구조물들의 하나 이상의 특
웨이퍼 상에 형성된 하나 이상의 구조물의 하나 이상의 특성(characteristic)을 결정하도록 구성된 시스템에 있어서,상기 웨이퍼 상에 형성된 하나 이상의 구조물에 광을 지향시키도록 구성된 조명 서브시스템 - 상기 광은 자외선 광, 가시 광, 및 적외선 광을 포함하고, 상기 하나 이상의 구조물은 적어도 하나의 고 종횡비(high aspect ratio) 구조물 또는 적어도 하나의 대 횡측 치수(large lateral dimension) 구조물을 포함함 -;상기 하나 이상의 구조물에 지향된 상기 광에 기인하여 상기 하나 이상의
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.