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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0030979 (2016-03-15) | |
공개번호 | 10-2017-0107623 (2017-09-26) | |
등록번호 | 10-1837737-0000 (2018-03-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160030979 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-03-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 사각 프레임과 상기 사각 프레임의 일측에 형성되는 연결판을 구비하는 프레임 모듈과, 상기 프레임 모듈의 연결판이 결합되는 회전 축과 상기 회전 축의 내부에 형성되어 외부로부터 공급되는 액상 냉매가 흐르는 냉매 공급 유로 및 상기 액상 냉매를 외부로 배출하는 냉매 배출 유로를 구비하며 상기 프레임 모듈을 회전시키는 회동 모듈과, 상기 사각 프레임의 상부에 안착되는 냉각 판을 구비하며, 상기 회동 모듈을 통하여 공급되는 액상 냉매에 의하여 상기 냉각 판이 냉각되도록 형성되는 냉각 모듈 및 상기 냉각 모듈의 상면에 안착되어 유
사각 프레임과 상기 사각 프레임의 일측에 형성되는 연결판을 구비하는 프레임 모듈과, 상기 프레임 모듈의 연결판이 결합되는 회전 축과 상기 회전 축의 내부에 형성되어 외부로부터 공급되는 액상 냉매가 흐르는 냉매 공급 유로 및 상기 액상 냉매를 외부로 배출하는 냉매 배출 유로를 구비하며 상기 프레임 모듈을 회전시키는 회동 모듈과,상기 사각 프레임의 상부에 안착되는 냉각 판을 구비하며, 상기 회동 모듈을 통하여 공급되는 액상 냉매로 상기 냉각 판을 냉각시키는 냉각 모듈 및상기 냉각 모듈의 상면에 안착되어 유리 기판을 고정하는 정전 척을
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