[특허]원자층 식각 방법 및 이를 포함하는 반도체 제조 방법

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/311 H01L-021/02 H01L-021/3213 H05H-001/46
출원번호	10-2016-0138587 (2016-10-24)
공개번호	10-2018-0045104 (2018-05-04)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020160138587
발명자 / 주소	우제헌 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 동 *호 (신동,래미안영통마크원단지) 성덕용 / 서울특별시 동작구 여의대방로 동 ***호 (신대방동,우성아파트) 오세진 / 경기도 화성시 동탄공원로길 -* *동 *호 (반송동,우림필유타운하우스아파트)
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 *** (매탄동)
대리인 / 주소	특허법인 고려
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록

본 발명은 원자층 식각 방법을 제공하되, 이 방법은, 두 종류 이상의 원자들을 포함하는 막을 원자층 단위로 식각할 때 각 종류의 원자들을 식각하기 적합한 식각 가스들을 순차적으로 공급하여 각 종류의 원자들을 순차적으로 제거한다.

대표청구항 ▼

각각 서로 다른 제 1 원자들과 제 2 원자들이 존재하는 원자층들을 포함하는 막을 제공하고; 그리고각각의 원자층을 순차적으로 제거하는 것을 포함하되,각각의 원자층을 제거하는 것은:상기 제 1 원자들과 반응하는 제 1 식각 가스를 공급하여 상기 제 1 원자들에 흡착시키는 단계;상기 제 1 원자들에 흡착되지 않은 상기 제 1 식각 가스를 퍼지(purge)하는 단계;상기 제 1 식각 가스가 흡착된 상기 제 1 원자들을 제거하는 단계;상기 제 2 원자들과 반응하는 제 2 식각 가스를 공급하여 상기 제 2 원자들에 흡착시키는 단계;상기 제

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 메뉴
내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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