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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0148849 (2016-11-09) | |
공개번호 | 10-2018-0051911 (2018-05-17) | |
등록번호 | 10-2135409-0000 (2020-07-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160148849 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 로드락챔버 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 대기압 상태의 외부와 공정압 상태의 공정챔버 사이에서 기판을 전달하는 로드락챔버 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것이다.본 발명은, 대기압상태의 외부 및 미리 설정된 공정압상태의 공정챔버(10) 사이에서 기판(S)을 전달하는 로드락챔버(30)로서, 밀폐된 내부공간을 형성하며, 기판도입 또는 기판배출을 위해 개폐되는 한 쌍의 게이트(311, 312)들이 대향하는 한 쌍의 측면부에 형성되는 챔버본체(310)와; 상기 챔버본체(310)에 설치되어
대기압상태의 외부 및 미리 설정된 공정압상태의 공정챔버(10) 사이에서 기판(S)을 전달하는 로드락챔버(30)로서,밀폐된 내부공간을 형성하며, 기판도입 또는 기판배출을 위해 개폐되는 한 쌍의 게이트(311, 312)들이 대향하는 한 쌍의 측면부에 형성되는 챔버본체(310)와;상기 챔버본체(310)에 설치되어 상기 내부공간에 위치된 기판(S)을 지지하는 기판지지부(320)와;상기 챔버본체(310)에 설치되어 상기 내부공간을 상기 공정압상태에서 대기압상태로 변화시면서 기판(S)을 냉각시키기 위하여 상기 내부공간에 가스를 주입하며, 길이
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