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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0025751 (2012-03-13) | |
공개번호 | 10-2013-0104341 (2013-09-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120025751 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
기판 이송 방법, 기판 이송 로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것이다.기판 이송 방법에 따르면, (a) 로드락 챔버에 다수 공급된 기판들을 기판 이송 로봇을 이용하여 공정 모듈들에 각각 반입하는 단계; (b) 제2,3 아암을 이용하여 로드락 챔버로부터 2장의 기판들을 반출해서 대기하는 단계; (c) 공정 모듈에서 공정 처리된 2장의 기판들을 기판 이송 로봇의 제1 아암을 이용하여 반출한 후, 대기 상태의 2장의 기판들을 빈 공정 모듈에 반입하는 단계; 및 (d) 공정 모듈로부터 반출된 2장의 기판들을 로드락 챔버로 반입하
이송 챔버; 상기 이송 챔버의 한쪽에 배치되고, 2장의 기판들이 공급될 수 있게 형성된 로드락 챔버; 상기 이송 챔버의 다른 쪽에 각각 배치되며, 상호 분리된 기판 처리 공간을 포함하는 공정 모듈들; 및 상기 이송 챔버 내에 배치되어 상기 로드락 챔버와 공정 모듈들 간에 기판을 이송하는 것으로, 상하부 중 어느 한쪽에서 2장의 기판을 동시에 이송하도록 동작하는 제1 아암과, 다른 쪽에서 1장의 기판을 개별 이송하도록 동작하는 제2,3 아암을 구비하는 기판 이송 로봇;을 포함하는 기판처리시스템의 기판 이송 방법으로서, (a) 로드락
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