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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0035763 (2020-03-24) | |
공개번호 | 10-2021-0119185 (2021-10-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200035763 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명은 이송로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트랜스퍼모듈을 통해 기판을 이송하기 위한 이송로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것이다.본 발명은 기판이송을 위한 이송로봇(500)을 구비하는 트랜스퍼모듈(300)과; 상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 동시에 2장의 기판(10)이 출입되며 2장의 기판(10) 안착을 위한 한 쌍의 기판지지부(13)가 수평방향으로 배치되는 하나 이상의 듀얼프로세스모듈(100)과; 상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 1장의 기판(10)이 출
기판이송을 위한 이송로봇(500)을 구비하는 트랜스퍼모듈(300)과;상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 동시에 2장의 기판(10)이 출입되며 2장의 기판(10) 안착을 위한 한 쌍의 기판지지부(13)가 수평방향으로 배치되는 하나 이상의 듀얼프로세스모듈(100)과;상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 1장의 기판(10)이 출입되며 기판(10) 안착을 위한 하나 이상의 기판지지부(13)가 구비되는 하나 이상의 싱글프로세스모듈(200)을 포함하며,상기 이송로봇(500)은, 각각 기판(10)이 안착되는 안착면(11)을 구비
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