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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0184132 (2021-12-21) | |
공개번호 | 10-2023-0094746 (2023-06-28) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210184132 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명의 일 관점에 따른 기판 이송 로봇은, 기판이 안착되는 블레이드와, 상기 기판의 측면을 그립하기 위하여 상기 블레이드에 형성된 적어도 하나의 그립부와, 상기 적어도 하나의 그립부와 와이어로 연결되고 상기 적어도 하나의 그립부의 모션을 제어하도록 상기 와이어를 구동하는 적어도 하나의 모터부와, 상기 기판을 그립하기 위한 상기 적어도 하나의 그립부의 구동 시 상기 적어도 하나의 모터부의 인가 부하율을 기준 부하율과 비교하여, 상기 기판의 안착상태를 판단하는 안착상태 판단부를 포함한다.
기판이 안착되는 블레이드;상기 기판의 측면을 그립하기 위하여 상기 블레이드에 형성된 적어도 하나의 그립부;상기 적어도 하나의 그립부와 와이어로 연결되고 상기 적어도 하나의 그립부의 모션을 제어하도록 상기 와이어를 구동하는 적어도 하나의 모터부; 및상기 기판을 그립하기 위한 상기 적어도 하나의 그립부의 구동 시 상기 적어도 하나의 모터부의 인가 부하율을 기준 부하율과 비교하여, 상기 기판의 안착상태를 판단하는 안착상태 판단부를 포함하는,기판 이송 로봇.
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