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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0024603 (2017-02-24) | |
공개번호 | 10-2018-0097884 (2018-09-03) | |
등록번호 | 10-1938219-0000 (2019-01-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170024603 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-02-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서, 상부가 개구되는 증발공간이 형성되고 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 상기 증착물질이 증발되어 증발입자가 분출되며, 상기 기판의 폭 방향으로 서로 이격되는 한 쌍의 도가니 본체와; 상기 증발공간의 상기 증발입자가 분출되는 노즐구가 형성되며, 상기 증발공간을 커버하도록 한 쌍의 상기 도가니 본체에 각각 결합되는 한 쌍의 노즐커버와; 상기 노즐구에 결합되고, 상기 증발입자가 선
기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서,상부가 개구되는 증발공간이 형성되고 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 상기 증착물질이 증발되어 증발입자가 분출되며, 상기 기판의 폭 방향으로 서로 이격되는 한 쌍의 도가니 본체와;상기 증발공간의 상기 증발입자가 분출되는 노즐구가 형성되며, 상기 증발공간을 커버하도록 한 쌍의 상기 도가니 본체에 각각 결합되는 한 쌍의 노즐커버와;상기 노즐구에 결합되고, 상기 증발입자가 선형을 이루어 분출되도록 상기 기판의
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