초록 ▼

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서, 상부가 개구되는 증발공간이 형성되고 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 상기 증착물질이 증발되어 증발입자가 분출되며, 상기 기판의 폭 방향으로 서로 이격되는 한 쌍의 도가니 본체와; 상기 증발공간의 상기 증발입자가 분출되는 노즐구가 형성되며, 상기 증발공간을 커버하도록 한 쌍의 상기 도가니 본체에 각각 결합되는 한 쌍의 노즐커버와; 상기 노즐구에 결합되고, 상기 증발입자가 선

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서, 상부가 개구되는 증발공간이 형성되고 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 상기 증착물질이 증발되어 증발입자가 분출되며, 상기 기판의 폭 방향으로 서로 이격되는 한 쌍의 도가니 본체와; 상기 증발공간의 상기 증발입자가 분출되는 노즐구가 형성되며, 상기 증발공간을 커버하도록 한 쌍의 상기 도가니 본체에 각각 결합되는 한 쌍의 노즐커버와; 상기 노즐구에 결합되고, 상기 증발입자가 선형을 이루어 분출되도록 상기 기판의 폭 방향으로 유도하는 노즐부를 포함하는, 선형 증발원용 도가니가 제공된다.

대표청구항 ▼

기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서,상부가 개구되는 증발공간이 형성되고 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 상기 증착물질이 증발되어 증발입자가 분출되며, 상기 기판의 폭 방향으로 서로 이격되는 한 쌍의 도가니 본체와;상기 증발공간의 상기 증발입자가 분출되는 노즐구가 형성되며, 상기 증발공간을 커버하도록 한 쌍의 상기 도가니 본체에 각각 결합되는 한 쌍의 노즐커버와;상기 노즐구에 결합되고, 상기 증발입자가 선형을 이루어 분출되도록 상기 기판의

기판의 폭 방향을 따라 선형으로 증착입자를 분사하여 상기 기판에 증착을 수행하는 선형 증발원에 사용되는 도가니로서,상부가 개구되는 증발공간이 형성되고 상기 증발공간에 증착물질이 충전되며 가열에 따라 상기 증착물질이 증발되어 증발입자가 분출되며, 상기 기판의 폭 방향으로 서로 이격되는 한 쌍의 도가니 본체와;상기 증발공간의 상기 증발입자가 분출되는 노즐구가 형성되며, 상기 증발공간을 커버하도록 한 쌍의 상기 도가니 본체에 각각 결합되는 한 쌍의 노즐커버와;상기 노즐구에 결합되고, 상기 증발입자가 선형을 이루어 분출되도록 상기 기판의 폭 방향으로 유도하는 노즐부를 포함하며,상기 노즐구는,상기 증발공간의 상기 증발입자가 분출되는 제1 노즐구와, 상기 제1 노즐구의 외측에 상기 한 쌍의 노즐커버에 각각 형성되며 상기 증발입자가 분사되는 복수의 제2 노즐구를 포함하며,상기 노즐부는,상기 제1 노즐구에 결합되는 관 형의 노즐팁과;외측으로 상향 경사를 이루어 관통하는 복수의 유도슬릿이 복수의 상기 제2 노즐구에 각각 상응하여 내부에 형성되며, 복수의 상기 유도슬릿이 상기 제2 노즐구와 각각 연통되도록 상기 한 쌍의 노즐커버에 각각 결합되는 한 쌍의 노즐박스를 포함하는 것을 특징으로 하는, 선형 증발원용 도가니.