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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0050323 (2017-04-19) | |
공개번호 | 10-2018-0117343 (2018-10-29) | |
등록번호 | 10-1941769-0000 (2019-01-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170050323 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-04-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 드레싱 공정 시에 상정반을 드럼의 일정 높이에 고정시킬 수 있는 웨이퍼의 양면 연마장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 웨이퍼의 양면 연마장치는 폴리싱 공정 시에 상정반의 돌기가 드럼의 홈들에 장착되지만, 드레싱 공정 시에 상정반의 돌기가 드럼의 홈들 주변 상단에 지지되도록 하여 상정반을 드럼의 특정 높이에 거치시킬 수 있다.따라서, 상정반을 드럼의 특정 높이에 거치시킨 상태에서 드레싱 공정을 진행함으로써, 연마패드를 평탄하게 드레싱할 수 있고, 이후에 폴리싱 공정을 진행하더라도 평탄도를 개선할 수 있는 이점이 있다.
회전 가능하게 설치된 축 형상의 드럼;상기 드럼의 외주면에 결합되고, 상기 드럼과 같이 회전 가능하게 설치된 상정반;상기 드럼의 외주면에 일정 간격을 두고 적어도 두 개 이상 구비되며, 상면으로부터 수직 방향으로 관통되고, 원주 방향으로 제1폭을 가지는 제1홈; 상기 제1홈들 사이에 위치하도록 상기 드럼의 외주면에 상기 제1홈들 사이의 간격과 동일한 간격을 두고 적어도 두 개 이상 구비되며, 상면으로부터 수직 방향으로 제1길이만큼 연장되고, 원주 방향으로 상기 제1폭 보다 작은 제2폭을 가지는 제2홈; 상기 제1홈들과 대응되도록 상
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