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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

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최초이용시에는
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그 이후에는
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분사모듈 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
  • B05B-007/04
  • B05B-007/24
출원번호 10-2017-0079171 (2017-06-22)
등록번호 10-1840166-0000 (2018-03-12)
DOI http://doi.org/10.8080/1020170079171
발명자 / 주소
  • 최기영 / 충청남도 홍성군 금마면 봉수산로***번길 **-**
출원인 / 주소
  • 최기영 / 충청남도 홍성군 금마면 봉수산로***번길 **-**
대리인 / 주소
  • 안희중
심사청구여부 있음 (2017-06-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명의 실시예에 따른 분사모듈은 내부에 에어를 수용하는 제1 챔버 및 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 형성된 제1 몸체부재와 상기 제1 몸체부재와 연결되어 상기 제1 통로의 일측벽을 형성하고, 내부에 세정액을 수용하는 제2 챔버 및 상기 제1 통로와 연결되어 상기 세정액이 분사되는 제2 통로가 형성된 제2 몸체부재를 포함하고, 상기 제2 몸체부재는, 상기 제1 몸체부재의 길이 방향을 따라 이동이 가능할 수 있다.

대표청구항

내부에 에어를 수용하는 제1 챔버, 상기 에어가 외부로 분사되는 제1 통로가 형성된 제1 몸체부재; 및상기 제1 몸체부재와 연결되어 상기 제1 통로의 일측벽을 형성하며 상기 제1 몸체부재의 길이 방향을 따라 이동이 가능하고, 내부에 세정액을 수용하는 제2 챔버, 상기 제1 통로와 연결되어 상기 세정액이 분사되는 제2 통로가 형성된 제2 몸체부재를 포함하고, 상기 제1 통로는,상기 제2 몸체부재의 상/하 이동에 따라 신축될 수 있는 주름관을 더 포함하는 분사모듈.

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. [한국] 에어나이프 장치 | 박호윤, 이승준
  2. [한국] 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 포함하는 기판건조장치 | 정동진
  3. [한국] 미스트의 유출을 방지할 수 있는 세정장치 및 그에적용되는 유체 분사장치 | 박기범, 김동길
  4. [일본] LOOP FLOW TYPE BUBBLE GENERATING NOZZLE | MATSUNAGA MASARU, MATSUNAGA DAISUKE
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