최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2017-0109096 (2017-08-29) | |
등록번호 | 10-1927881-0000 (2018-12-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170109096 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2017-08-29) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 스퍼터링 캐소드 및 스퍼터링 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스퍼터링 타겟의 일면에 형성되는 자기장의 세기를 증가시키는 고밀도 플라즈마 형성을 위한 스퍼터링 캐소드 및 스퍼터링 장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 따른 스퍼터링 캐소드는 타겟 재료로 이루어진 스퍼터링 타겟; 상기 스퍼터링 타겟의 배면 측에 제공되는 복수의 자석; 상기 복수의 자석이 지지되는 지지부재; 상기 복수의 자석은, 제1 극성을 갖는 자극이 상기 스퍼터링 타겟을 향하는 제1 자석; 및 상기 제1 극성과 동일한 극성을 갖는 자극이 상기 지지
타겟 재료로 이루어진 스퍼터링 타겟;상기 스퍼터링 타겟의 배면 측에 제공되는 복수의 자석; 및제1 방향으로 연장되는 막대 또는 관 형상이며, 그 외주를 따라 상기 복수의 자석이 지지되는 지지부재;를 포함하고,상기 복수의 자석은,제1 극성을 갖는 자극이 상기 스퍼터링 타겟을 향하는 제1 자석; 및상기 제1 극성과 동일한 극성을 갖는 자극이 상기 지지부재의 외주면을 향하는 복수개의 제2 자석을 포함하고,상기 타겟 재료는 강자성체이며,상기 제1 자석의 일측에서 상기 제1 자석의 타측까지의 상기 지지부재의 외주면에는 상기 복수개의 제2 자
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.