초록

본 발명은 전기도금라인에서 전류의 제어방법에 관한 것으로서, 특히 기판에 인가되는 전류를 제어하여 기판의 도금 두께를 균일하게 할 수 있는 전기도금라인의 무선행거에 장착된 기판에 인가되는 전류의 제어방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

도금조 내부에 다수개의 양극판과 기판이 이격되어 배치되고, 하나의 정류기에 다수개의 양극판이 연결되며, 상기 도금조의 상부에 행거가 설치되고 상기 행거에 지그가 장착되며 상기 지그에 상기 기판이 결합되어 배치되는 전기도금장치에 있어서,상기 양극판을 통해 상기 기판에 인가되어야 하는 기준전류값을 설정하는 단계와;상기 기준전류값과 하나의 정류기에 연결된 양극판의 갯수를 곱한 만큼의 합산전류값을 상기 정류기에 인가하는 단계;상기 정류기에 인가된 합산전류값을 양극판의 갯수로 나누어 동일한 전류값을 각각의 양극판에 공급하는 단계와;상기 양극

도금조 내부에 다수개의 양극판과 기판이 이격되어 배치되고, 하나의 정류기에 다수개의 양극판이 연결되며, 상기 도금조의 상부에 행거가 설치되고 상기 행거에 지그가 장착되며 상기 지그에 상기 기판이 결합되어 배치되는 전기도금장치에 있어서,상기 양극판을 통해 상기 기판에 인가되어야 하는 기준전류값을 설정하는 단계와;상기 기준전류값과 하나의 정류기에 연결된 양극판의 갯수를 곱한 만큼의 합산전류값을 상기 정류기에 인가하는 단계;상기 정류기에 인가된 합산전류값을 양극판의 갯수로 나누어 동일한 전류값을 각각의 양극판에 공급하는 단계와;상기 양극판으로부터 공급되어 도금액을 통해 각 기판에 인가되는 실제전류값을 각각의 지그에 장착된 전류센서를 이용하여 측정하는 단계와;다수개의 실제전류값 중 가장 낮은값과 상기 기준전류값을 비교하는 단계와;각 지그에 장착된 가변저항을 이용하여 상기 기판에 인가되는 실제전류값을 조절하는 단계;를 포함하여 이루어지되,다수개의 실제전류값 중 가장 낮은값이 상기 기준전류값보다 작으면 그 차이값에 양극판의 갯수를 곱한 만큼의 추가값을 상기 합산전류값에 더하여 새로운 합산전류값을 산출하고 이를 상기 정류기에 인가하여 상기 양극판에 변경된 전류값이 인가되도록 하며,다수개의 실제전류값 중 가장 낮은값이 상기 기준전류값보다 크거나 같으면, 각 기판에서 측정되는 실제전류값이 상기 기준전류값과 동일하게 되도록 상기 가변저항을 조절하며,상기 전류센서에서 측정한 각 기판에 인가되는 실제전류값이 미리 설정된 허용범위를 벗어난 경우에는, 상기 지그에 불량이라고 판단하여 알리는 것을 특징으로 하는 전기도금라인의 무선행거에 장착된 기판에 인가되는 전류의 제어방법.