초록

대면적 기판의 대응에 적합하며 또한 제조가 용이한 정전척과 그 제조방법이 소개된다. 그 정전척 베이스(1) 상에 제1 유전층(10')과 제2 유전층(20')이 형성되고, 이 유전층들(10',20') 사이에 전극 패턴(40)이 마련된 구조를 갖는다. 유전층들(10',20')은 액상 수지의 경화층이다. 기판을 지지하는 제2 유전층(20') 상에는 절연성 필름이나 폼재 시트(50)가 부착될 수 있다.

대표청구항 ▼

a) 베이스의 상부면 가장자리를 따라 제1 댐을 설치하는 단계, 제1 댐에 의해 둘러싸인 베이스의 상부는 제1 영역으로 규정됨;b) 제1 영역에 제1 액상 수지가 흘러 들어가 도포되도록 베이스 상에 제1 액상 수지를 주입하고 이를 경화시키는 단계;c) 경화된 제1 액상 수지의 상부면을 평탄 가공하여 제1 유전층을 마련하는 단계;d) 제1 유전층 상에 전극 패턴을 형성하는 단계;e) 제1 유전층의 가장자리를 따라 제2 댐을 설치하는 단계, 제2 댐에 의해 둘러싸인 제1 유전층 상부는 제2 영역으로 규정됨;f) 제2 영역에 제2 액상

a) 베이스의 상부면 가장자리를 따라 제1 댐을 설치하는 단계, 제1 댐에 의해 둘러싸인 베이스의 상부는 제1 영역으로 규정됨;b) 제1 영역에 제1 액상 수지가 흘러 들어가 도포되도록 베이스 상에 제1 액상 수지를 주입하고 이를 경화시키는 단계;c) 경화된 제1 액상 수지의 상부면을 평탄 가공하여 제1 유전층을 마련하는 단계;d) 제1 유전층 상에 전극 패턴을 형성하는 단계;e) 제1 유전층의 가장자리를 따라 제2 댐을 설치하는 단계, 제2 댐에 의해 둘러싸인 제1 유전층 상부는 제2 영역으로 규정됨;f) 제2 영역에 제2 액상 수지가 흘러 들어가 도포되도록 제1 유전층 상에 제2 액상 수지를 주입하고 이를 경화시키는 단계; 및g) 경화된 제2 액상 수지의 상부면을 평탄 가공하여 제2 유전층을 마련하는 단계를 포함하며,b) 단계 전에 베이스에 형성된 홀을 통해 금속 커넥터가 베이스 상부면 위로 돌출 배치되며, d) 단계에서 이 금속 커넥터가 전극 패턴과 연결되며,상기 제2 액상 수지는 제1 액상 수지보다 연질인 것을 특징으로 하는 정전척 제조방법.