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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0155167 (2017-11-20) | |
등록번호 | 10-1937149-0000 (2019-01-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170155167 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-11-20) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
상부 및 하부 전극 간의 단락 불량을 방지하여 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있는 페로브스카이트계 압전 박막을 이용한 MEMS 마이크로폰 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 페로브스카이트계 압전 박막을 이용한 MEMS 마이크로폰은 중앙 부분에 빈 공간을 구비하는 지지 기판; 상기 지지 기판 상에 고정되며, 음향이 통과하는 관통 홀을 갖는 압전 박막; 상기 지지 기판과 압전 박막 사이에 배치된 하부 전극; 상기 압전 박막 상에 배치된 상부 전극; 및 상기 압전 박막의 내부에 분산 배치되어, 상기 상부 전극과 하부 전극 간
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