[특허]페로브스카이트계 압전 박막을 이용한 MEMS 마이크로폰 제조 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H04R-017/00 H04R-017/02 H04R-031/00
출원번호	10-2017-0155167 (2017-11-20)
등록번호	10-1937149-0000 (2019-01-04)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170155167
발명자 / 주소	전대우 / 경상남도 진주시 하대로*번길 -* 이영진 / 경상남도 진주시 영천강로 *번길 김진호 / 경상남도 진주시 사들로 **, LH혁신아파트 단지 *동 호 김선욱 / 경기도 남양주시 화도읍 경춘로 -, * 동 호(마석그랜드힐 차아파트) 황종희 / 경상남도 진주시 금산면 중장로*번길 , *동 호(진주금산두산위브아파트) 이미재 / 경상남도 진주시 사들로 , 혁신도시LH아파트 단지 *호 호 임태영 / 경기도 수원시 영통구 센트럴타운로 , **동 호(이의동, e편한세상 광교) 손호기 / 서울특별시 송파구 성내천로 -(마천동)
출원인 / 주소	한국세라믹기술원 / 경상남도 진주시 소호로 *** (충무공동, 부속건물세라믹소재종합지원센터)
대리인 / 주소	특허법인(유한) 대아
심사청구여부	있음 (2017-11-20)
심사진행상태	등록결정(재심사후)
법적상태	등록

초록 ▼

상부 및 하부 전극 간의 단락 불량을 방지하여 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있는 페로브스카이트계 압전 박막을 이용한 MEMS 마이크로폰 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 페로브스카이트계 압전 박막을 이용한 MEMS 마이크로폰은 중앙 부분에 빈 공간을 구비하는 지지 기판; 상기 지지 기판 상에 고정되며, 음향이 통과하는 관통 홀을 갖는 압전 박막; 상기 지지 기판과 압전 박막 사이에 배치된 하부 전극; 상기 압전 박막 상에 배치된 상부 전극; 및 상기 압전 박막의 내부에 분산 배치되어, 상기 상부 전극과 하부 전극 간

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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