야스모리, 준이찌
/ 일본 ******* 도꾜도 신주꾸꾸 니시신주꾸 *-**-* 호야 가부시키가이샤 내
즈보이, 세이지
/ 일본 ******* 도꾜도 신주꾸꾸 니시신주꾸 *-**-* 호야 가부시키가이샤 내
가와하라, 아끼히로
/ 일본 ******* 도꾜도 신주꾸꾸 니시신주꾸 *-**-* 호야 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소
호야 가부시키가이샤 / 일본 도쿄도 신쥬꾸구 니시신쥬꾸 *쵸메 **-*
대리인 / 주소
양영준;
이중희
심사청구여부
있음 (2020-09-03)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
본 발명은, 마스크 블랭크용 기판이나 마스크 블랭크를 제조할 때의 제조 수율이 높은 표시 장치 제조용 마스크 블랭크용 기판을 제공한다.전사 패턴이 되는 박막이 형성되는 제1 주표면과, 해당 제1 주표면에 대향해서 설치된 제2 주표면과, 제1 주표면 및 제2 주표면에 대하여 수직인 단부면을 갖는 투광성 기판을 구비한다.투광성 기판은, 제1 주표면을 특정하는 마크를 갖는다.마크는, 제1 주표면, 제2 주표면 및 단부면 중 적어도 하나에 설치되어 있다.마크는, 제1 주표면 및 제2 주표면의 경면 연마, 단부면의 조면화 처리 및 경면 연마
본 발명은, 마스크 블랭크용 기판이나 마스크 블랭크를 제조할 때의 제조 수율이 높은 표시 장치 제조용 마스크 블랭크용 기판을 제공한다.전사 패턴이 되는 박막이 형성되는 제1 주표면과, 해당 제1 주표면에 대향해서 설치된 제2 주표면과, 제1 주표면 및 제2 주표면에 대하여 수직인 단부면을 갖는 투광성 기판을 구비한다.투광성 기판은, 제1 주표면을 특정하는 마크를 갖는다.마크는, 제1 주표면, 제2 주표면 및 단부면 중 적어도 하나에 설치되어 있다.마크는, 제1 주표면 및 제2 주표면의 경면 연마, 단부면의 조면화 처리 및 경면 연마, 및 투광성 기판의 세정 중 적어도 하나의 처리에 의해 제거 가능하다.
대표청구항▼
표시 장치 제조용 마스크 블랭크용 기판의 제조 방법으로서,상기 마스크 블랭크용 기판은, 전사 패턴이 되는 박막이 형성되는 제1 주표면과, 해당 제1 주표면에 대향해서 설치된 제2 주표면과, 상기 제1 주표면 및 상기 제2 주표면에 대하여 수직인 단부면을 갖고,한쪽의 주표면과, 해당 한쪽의 주표면에 대향해서 설치된 다른 쪽의 주표면과, 상기 한쪽의 주표면 및 상기 다른 쪽의 주표면에 대하여 수직인 단부면을 갖는 투광성 기판을 준비하는 공정과,상기 투광성 기판의 상기 한쪽의 주표면 및 상기 다른 쪽의 주표면을 경면 연마하는 공정과,상기
표시 장치 제조용 마스크 블랭크용 기판의 제조 방법으로서,상기 마스크 블랭크용 기판은, 전사 패턴이 되는 박막이 형성되는 제1 주표면과, 해당 제1 주표면에 대향해서 설치된 제2 주표면과, 상기 제1 주표면 및 상기 제2 주표면에 대하여 수직인 단부면을 갖고,한쪽의 주표면과, 해당 한쪽의 주표면에 대향해서 설치된 다른 쪽의 주표면과, 상기 한쪽의 주표면 및 상기 다른 쪽의 주표면에 대하여 수직인 단부면을 갖는 투광성 기판을 준비하는 공정과,상기 투광성 기판의 상기 한쪽의 주표면 및 상기 다른 쪽의 주표면을 경면 연마하는 공정과,상기 경면 연마 후의 상기 한쪽의 주표면 및 상기 다른 쪽의 주표면의 각 평탄도를 적어도 포함하는 표면 정보를 취득하는 표면 정보 취득 공정과,상기 한쪽의 주표면 및 상기 다른 쪽의 주표면 중, 상기 표면 정보 취득 공정에서 얻어진 평탄도가 양호한 쪽의 주표면을 제1 주표면으로 하고, 상기 제2 주표면에만, 상기 제1 주표면을 특정하는 마크를 형성하는 공정을 갖고,상기 마크는, 상기 한쪽의 주표면 및 상기 다른 쪽의 주표면의 경면 연마, 상기 단부면의 조면화 처리 및 경면 연마, 및 상기 투광성 기판의 세정 중 적어도 하나의 처리에 의해 제거 가능하고,상기 투광성 기판은, 노치 마크를 갖고 있지 않은 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크용 기판의 제조 방법.
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