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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-7022318 (2017-08-10) | |
공개번호 | 10-2017-0127417 (2017-11-21) | |
등록번호 | 10-2508957-0000 (2023-03-07) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2015-061295 (2015-03-24) | |
국제출원번호 | PCT/JP2016/054765 (2016-02-18) | |
국제공개번호 | WO 2016/152345 (2016-09-29) | |
번역문제출일자 | 2017-08-10 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020177022318 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-01-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
일주면을, 판 형상 시료를 재치하는 재치면으로 함과 함께 정전 흡착용 내부 전극을 내장한 정전 척부(10)와, 스페이서(22) 및 실리콘 접착제(24)를 함유하고, 층두께(D)가 3~25μm이며, 층두께(D)와 스페이서(22)의 평균 입자경(ΦS)의 비(ΦS/D)가 0.1~1.0인 제1 접착층(20)과, 제1 접착층(20)에 의하여, 정전 척부(10)의 상기 재치면과 반대측의 면에 서로 간극을 갖고 접착된 복수의 가열 부재(30)와, 실리콘 접착제를 함유하는 제2 접착층(40)과, 정전 척부(10)를 냉각하는 기능을 갖는 베이스부(
일주면을, 판 형상 시료를 재치하는 재치면으로 함과 함께 정전 흡착용 내부 전극을 내장한 정전 척부와,스페이서 및 실리콘 접착제를 함유하고, 층두께(D)가 3~25μm이며, 상기 층두께(D)와 상기 스페이서의 평균 입자경(ΦS)의 비(ΦS/D)가 0.1~1.0인 제1 접착층과,상기 제1 접착층에 의하여, 상기 정전 척부의 상기 재치면과 반대측의 면에 서로 간극을 갖고 접착된 복수의 가열 부재와,실리콘 접착제를 함유하는 제2 접착층과,상기 정전 척부를 냉각하는 기능을 갖는 베이스부를 이 순으로 구비하고,상기 제1 접착층 중의 상기 스
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