초록 ▼

백킹 플레이트의 연출 부분과 타겟 측면 사이에서의 이상 방전의 발생을 억제하면서도 파티클 발생을 억제할 수 있는 캐소드 어셈블리를 제공한다.　절연물 타겟(2)과, 이 타겟의 한쪽 면에 접합되는 백킹 플레이트(3)와, 백킹 플레이트의 타겟 측을 아래로 하고, 타겟의 외주단보다 바깥쪽으로 연출된 백킹 플레이트의 아래 쪽의 연출 부분(31)과 마주하도록 배치되는 환형 차폐판(4)을 구비하는 본 발명에 따른 스퍼터링 장치용 캐소드 어셈블리는, 백킹 플레이트가 연출 부분에 대해 돌출 구비된 접합부(32)를 가지며, 이 접합부에 타겟을 접합한

백킹 플레이트의 연출 부분과 타겟 측면 사이에서의 이상 방전의 발생을 억제하면서도 파티클 발생을 억제할 수 있는 캐소드 어셈블리를 제공한다.　절연물 타겟(2)과, 이 타겟의 한쪽 면에 접합되는 백킹 플레이트(3)와, 백킹 플레이트의 타겟 측을 아래로 하고, 타겟의 외주단보다 바깥쪽으로 연출된 백킹 플레이트의 아래 쪽의 연출 부분(31)과 마주하도록 배치되는 환형 차폐판(4)을 구비하는 본 발명에 따른 스퍼터링 장치용 캐소드 어셈블리는, 백킹 플레이트가 연출 부분에 대해 돌출 구비된 접합부(32)를 가지며, 이 접합부에 타겟을 접합한 상태에서 접합부에서 바깥쪽으로 돌출된 타겟의 돌출 부분(21)과 백킹 플레이트의 연출 부분의 간극에, 차폐판의 내주연부(41)를 위치시킨다.

대표청구항 ▼

절연물의 타겟과 이 타겟의 한쪽 면에 접합되는 백킹 플레이트(backing plate) 와 백킹 플레이트의 타겟 측을 아래로 하고, 타겟의 외주단(外周端)보다 바깥쪽으로 연출된 백킹 플레이트의 아래 쪽의 연출(延出) 부분과 마주하도록 배치되는 환형 차폐판을 구비하는 스퍼터링 장치용 캐소드 어셈블리에 있어서,　백킹 플레이트는 연출 부분에 대해 돌출 구비된 접합부를 가지며, 이 접합부에 타겟을 접합한 상태에서 접합부에서 바깥쪽으로 돌출된 타겟의 돌출 부분과, 백킹 플레이트의 연출 부분 사이에 제 1 간극(S)에, 차폐판의 내주연부를 위

절연물의 타겟과 이 타겟의 한쪽 면에 접합되는 백킹 플레이트(backing plate) 와 백킹 플레이트의 타겟 측을 아래로 하고, 타겟의 외주단(外周端)보다 바깥쪽으로 연출된 백킹 플레이트의 아래 쪽의 연출(延出) 부분과 마주하도록 배치되는 환형 차폐판을 구비하는 스퍼터링 장치용 캐소드 어셈블리에 있어서,　백킹 플레이트는 연출 부분에 대해 돌출 구비된 접합부를 가지며, 이 접합부에 타겟을 접합한 상태에서 접합부에서 바깥쪽으로 돌출된 타겟의 돌출 부분과, 백킹 플레이트의 연출 부분 사이에 제 1 간극(S)에, 차폐판의 내주연부를 위치시키고,상기 차폐판과 상기 백킹 플레이트의 연출 부분 사이에 제 2 간극(d1)이 존재하고, 상기 차폐판과 상기 타겟의 돌출 부분 사이에 제 3 간극(d2)이 존재하는 것을 특징으로 하는 캐소드 어셈블리.