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[한국특허] 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐
OVEN HAVING ANTI-THERMAL SHUTTER
원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-051/56
  • H01L-021/67
  • H01L-021/677
  • H01L-051/00
출원번호 10-2018-0006032 (2018-01-17)
공개번호 10-2019-0087789 (2019-07-25)
등록번호 10-2307731-0000 (2021-09-27)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180006032
발명자 / 주소
  • 이민호 / 경기도 시흥시 정왕대로 ***번길 * 주공*단지 ***동 ***호
출원인 / 주소
  • 주식회사 제우스 / 경기도 화성시 안녕남로 ***
대리인 / 주소
  • 특허법인아주
심사청구여부 있음 (2020-02-06)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐에 대한 발명이 개시된다. 개시된 열변형 방지형 셔터를 구비한 오븐은, 내부의 구조물 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 형성하는 챔버와, 출입구를 개폐하여 글라스기판의 인출을 도와주고, 챔버에서 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부와, 챔버 내부의 고열에 의해 셔터부에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 챔버에서 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

내부의 구조물 상에 글라스기판을 안착하도록 출입구를 형성하는 챔버;상기 출입구를 개폐하여 상기 글라스기판의 인출을 도와주고, 상기 챔버에서 가열기체의 누출을 방지하는 셔터부; 및상기 챔버 내부의 고열에 의해 상기 셔터부에서 발생되는 열전달과 열변형을 줄여주어 상기 챔버에서 유기증기의 누설을 방지하는 열변형방지부;를 포함하고,상기 셔터부는, 상기 출입구를 차단하는 바디부; 및상기 바디부와 이격 배치되도록 연결되고, 상기 바디부를 상기 챔버의 출입구에 구동부를 통해 가압 밀착하는 메인프레임부;를 포함하며,상기 메인프레임부는, 상기 바디

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 개선된 기판 열처리 챔버용 도어, 및 이를 구비한 기판 열처리 챔버 및 장치 | 서석원, 노성호
  2. [한국] 코크스 오븐 도어의 기밀장치 | 강명성

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