초록 ▼

본 발명은 웨이퍼용 진공척에 관한 것으로, 특히 제어부와 다이싱 유닛이 구비된 다이싱 설비의 상부에 위치되며 진공원과 연결된 진공유로가 형성된 베이스 테이블; 상면에 웨이퍼가 놓이며, 상기 진공유로와 접촉되도록 상기 베이스 테이블의 상면에 구비되는 포러스; 상기 포러스를 둘러싸는 통전 링; 상기 다이싱 설비와 통전될 수 있도록 상기 베이스 테이블에 구비되는 접촉단자; 상기 접촉단자와 상기 통전 링에 연결되는 커넥터;를 포함하여 이루어지되, 상기 다이싱 유닛이 상기 통전 링에 접촉되면 상기 커넥터와 상기 접촉단자를 통해 상기 다이싱

본 발명은 웨이퍼용 진공척에 관한 것으로, 특히 제어부와 다이싱 유닛이 구비된 다이싱 설비의 상부에 위치되며 진공원과 연결된 진공유로가 형성된 베이스 테이블; 상면에 웨이퍼가 놓이며, 상기 진공유로와 접촉되도록 상기 베이스 테이블의 상면에 구비되는 포러스; 상기 포러스를 둘러싸는 통전 링; 상기 다이싱 설비와 통전될 수 있도록 상기 베이스 테이블에 구비되는 접촉단자; 상기 접촉단자와 상기 통전 링에 연결되는 커넥터;를 포함하여 이루어지되, 상기 다이싱 유닛이 상기 통전 링에 접촉되면 상기 커넥터와 상기 접촉단자를 통해 상기 다이싱 유닛과 상기 다이싱 설비가 통전되어 신호가 발생되고, 상기 제어부는 상기 신호를 토대로 상기 다이싱 설비의 영점을 셋팅하며, 상기 구성에 의해 진공척에 통전 가능한 코팅을 하지 않고도 진공척과 다이싱 설비의 영점(Zero point)을 셋팅시킬 수 있는 웨이퍼용 진공척에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

다이싱 유닛과 연결된 제어부를 포함하는 다이싱 설비에 의해 구동되고, 진공원과 연결된 상하면 진공유로(311,313)가 형성된 베이스 테이블;상기 진공원과 연결되며, 상면에 상기 하면 진공유로(313)와 연결되는 진공유로(103a,103b,103c)가 형성되는 베이스;상면에 웨이퍼가 놓이며, 상기 상면 진공유로(311)와 연결되도록 상기 베이스 테이블의 상면에 구비되는 포러스; 상기 포러스를 둘러싸는 통전 링; 상기 베이스 테이블에 구비되어 상기 다이싱 설비와 통전될 수 있는 볼 플런저; 상기 볼 플런저와 상기 통전 링에 연결되는

다이싱 유닛과 연결된 제어부를 포함하는 다이싱 설비에 의해 구동되고, 진공원과 연결된 상하면 진공유로(311,313)가 형성된 베이스 테이블;상기 진공원과 연결되며, 상면에 상기 하면 진공유로(313)와 연결되는 진공유로(103a,103b,103c)가 형성되는 베이스;상면에 웨이퍼가 놓이며, 상기 상면 진공유로(311)와 연결되도록 상기 베이스 테이블의 상면에 구비되는 포러스; 상기 포러스를 둘러싸는 통전 링; 상기 베이스 테이블에 구비되어 상기 다이싱 설비와 통전될 수 있는 볼 플런저; 상기 볼 플런저와 상기 통전 링에 연결되는 커넥터;를 포함하여 이루어지되, 상기 다이싱 유닛이 상기 통전 링에 접촉되면 상기 커넥터와 상기 볼 플런저를 통해 상기 다이싱 유닛과 상기 다이싱 설비가 통전되어 신호가 발생되고, 상기 제어부는 상기 신호를 토대로 상기 다이싱 유닛의 영점(Zero point)을 셋팅하며,상기 베이스 테이블의 상면에는 홈이 형성되고, 상기 홈에 상기 볼 플런저와 상기 커넥터가 삽입되며, 상기 베이스 테이블의 홈은 상기 커넥터가 삽입되는 도포홈과, 상기 도포홈의 일측에서 상하 방향으로 관통 형성된 볼 플런저 수용홀을 포함하여 이루어지며,상기 도포홈의 상측 가장자리에는 상기 도포홈을 외부 공간과 연통시키는 개방부가 형성되고상기 볼 플런저는 상기 베이스와 접촉될 수 있는 볼과, 압축되어 상기 볼의 돌출 정도를 조절하는 스프링을 수용하는 몸체를 포함하여 이루어지고,상기 몸체에는 상기 베이스 테이블에 걸리는 돌출부가 형성되며,상기 볼 플런저 수용홀은 상기 볼 플런저의 돌출부가 걸리도록 직경이 서로 다른 2 개의 홀로 이루어지는 웨이퍼용 진공척