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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0051988 (2018-05-04) | |
공개번호 | 10-2019-0127402 (2019-11-13) | |
등록번호 | 10-2097501-0000 (2020-03-31) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180051988 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-05-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 상부 절연층 상면에 유무기 복합 재질의 보호 코팅층이 구비되어 절연층의 파손을 방지하고 용이한 리페어가 가능한 보호 코팅층을 가지는 정전척에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 보호 코팅층을 가지는 정전척은, 베이스층; 상기 베이스층 상에 형성되는 하부 절연층; 상기 하부 절연층 상에 패턴으로 형성되는 전극층; 상기 전극층 상에 형성되는 상부 절연층; 상기 상부 절연층의 상면 전면에 걸쳐서 형성되는 보호 코팅층;을 포함한다.
베이스층;상기 베이스층 상에 형성되는 하부 절연층;상기 하부 절연층 상에 패턴으로 형성되는 전극층;상기 전극층 상에 형성되는 상부 절연층;상기 상부 절연층의 상면 전면에 걸쳐서 100 ~ 500㎛의 두께로 형성되며, 레진, 경화제 및 무기 화합물을 포함하는 보호 코팅층;을 포함하며, 상기 무기 화합물은, SiC, B4C, AlC, TiC, Si3N4, AlON, TiN, AlN, TiB2, Al2O3, MgO, SiO2, Y2O3, ZrO2, CeO2, TiO2, BN, YAG, AlF3 로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나 또는
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