[특허]산화인듐-산화아연계 (IZO) 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법

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산화인듐-산화아연계 (IZO) 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-014/34 C04B-035/453 C04B-035/64 C23C-014/08
출원번호	10-2018-0077156 (2018-07-03)
공개번호	10-2018-0081686 (2018-07-17)
등록번호	10-1956506-0000 (2019-03-04)
우선권정보	일본(JP) JP-P-2016-071381 (2016-03-31)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020180077156
발명자 / 주소	가케노 다카시 / 일본 이바라키켕 기타이바라키시 하나카와쵸 우스바 **반치 제이엑스금속주식회사 이소하라고죠 나이
출원인 / 주소	제이엑스금속주식회사 / 일본 도쿄도 지요다쿠 오테마치 쵸메 방 *고
대리인 / 주소	특허법인코리아나
심사청구여부	있음 (2018-07-03)
심사진행상태	등록결정(재심사후)
법적상태	등록

초록

In, Zn, O 로 이루어지는 스퍼터링 타깃으로서, Zn 과 In 의 원자비가 0.05 ≤ Zn/(In ＋ Zn) ≤ 0.30 을 만족시키고, 그 타깃의 스퍼터 면에 있어서의 벌크 저항률의 표준 편차가 0.1 mΩ·㎝ 이하인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타깃. 소결체의 휨이 적고, 휨 저감을 위한 연삭에 의한 벌크 저항률의 면내 편차가 억제된 산화인듐-산화아연계 산화물 (IZO) 소결체 타깃의 제조 방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

원료 분말을 프레스 성형한 성형체를 소결하여 제조되는 IZO 소결체로 이루어지는 스퍼터링 타깃의 제조 방법으로서,실온으로부터 소결 온도까지 승온시키는 공정에 있어서, 도중 유지 온도를 600 ∼ 700 ℃ 로 하고, 4 ∼ 5 시간 유지하는 공정, 당해 도중 유지 온도로부터 소결 온도까지 0.2 ∼ 2.0 ℃/min 로 승온시키는 공정, 소결 온도를 1350 ∼ 1500 ℃ 로 하고, 소결 유지 시간을 1 ∼ 100 시간으로 소결하는 공정으로 이루어지고, 얻어지는 스퍼터링 타깃이, In, Zn, O 로 이루어지고, Zn 과 In 의 원자비가 0.05 ≤ Zn/(In ＋ Zn) ≤ 0.30 을 만족시키고, 그 타깃의 스퍼터 면의 면적이 60000 ㎟ 이상이고, 스퍼터 면에 있어서의 벌크 저항률의 표준 편차가 1.0 mΩ·㎝ 이하이고, 상대 밀도가 98 ％ 이상인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타깃의 제조 방법.

이 특허에 인용된 특허 (3)

[일본] METHOD FOR MANUFACTURING OXIDE SINTERED COMPACT, METHODS FOR MANUFACTURING OXIDE SINTERED COMPACT, SPUTTERING TARGET, OXIDE THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR, AND SEMICONDUCTOR DEVICE | UTSUNO FUTOSHI, YANO KIMINORI, INOUE KAZUYOSHI
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[일본] METHOD FOR MANUFACTURING InZnO BASED SPUTTERING TARGET | WADA MASARU, RINOEN KAORU, KAWAGOE YUTAKA, TAKAHASHI KAZUHISA, TODA HIROYUKI, NAGAYAMA SATSUKI, TAKESUE KENTARO
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[일본] SPUTTERING TARGET AND PRODUCTION METHOD THEREOF | KONDO YUICHI, UMEMOTO KEITA, CHO SHUHIN
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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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