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정전척 히터 및 그 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
  • H01L-021/683
출원번호 10-2018-0024661 (2018-02-28)
공개번호 10-2019-0103795 (2019-09-05)
등록번호 10-2450476-0000 (2022-09-28)
DOI http://doi.org/10.8080/1020180024661
발명자 / 주소
  • 정철호 / 경기도 평택시 현신*길 **, ***호(용이동)
  • 최진영 / 경기도 안성시 대덕면 서동대로 ****, ***동 ***호(롯데캐슬 센트럴시티)
출원인 / 주소
  • 주식회사 미코세라믹스 / 경기도 안성시 공단로 *** (신모산동,(주)미코)
대리인 / 주소
  • 특허법인충정
심사청구여부 있음 (2021-01-08)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 정전척 히터 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게, 접지 전극 및 상기 접지 전극 외측으로 일정 거리 이격 되어 형성된 정전척 전극을 포함하는 정전척 히터에 관한 것으로서, 웨이퍼 가장자리 들뜸현상을 감소시킴으로써, 웨이퍼 등 대상체 가열면의 위치별 온도 편차가 현저히 줄어들어 가열면의 온도 균일성(TEMPERATURE UNIFORMITY)을 높일 수 있는 효과가 있다.

대표청구항

접지 전극(310) 및 상기 접지 전극(310) 외측으로 일정 거리 이격 되어 형성된 정전척 전극(320)을 포함하고, 상기 정전척 전극(320)이 형성된 평면과 다른 평면에서 상기 정전척 전극(320)을 연결하는 정전척 연결부재(325)를 더 포함하는, 정전척 히터.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 정전척의 제조방법 | 김형민, 장혁규, 석동수, 권해용
    상세보기
  2. [일본] ATTRACTING STAGE AND SUBSTRATE-BONDING APPARATUS USING THE SAME | MASUDA KOICHI
    상세보기

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