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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2018-0101509 (2018-08-28) | |
| 공개번호 | 10-2018-0099607 (2018-09-05) | |
| 등록번호 | 10-2359244-0000 (2022-01-28) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020180101509 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-07-21) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은, 챔버에 일 방향으로 요동 가능한 마스크를 마련하는 과정, 챔버에 기판을 반송하는 과정, 기판을 공정 위치로 이동시키고 마스크와 대향 배치시키는 과정, 공정 위치에서 기판과 마스크의 위치를 일방향으로 일치시키는 과정, 마스크를 사이에 두고 기판에 대향 배치되는 타겟을 이용하여 기판을 요동 성막 처리하는 과정, 및 기판을 요동 성막 처리하는 중에, 기판과 상기 마스크가 같은 방향으로 동시에 이동하며 요동이 동기화하도록 기판과 상기 마스크를 연동시키는 과정을 포함하며, 기판과 마스크를 연동하여 이동시키면서, 마스크를 사이에
기판에 막을 증착하는 막 증착 방법으로서,챔버에 일 방향으로 요동 가능한 마스크를 마련하는 과정:챔버에 기판을 반송하는 과정;상기 기판을 공정 위치로 이동시키고 마스크와 대향 배치시키는 과정;상기 공정 위치에서 상기 기판과 상기 마스크의 위치를 일방향으로 일치시키는 과정;상기 기판과 상기 마스크의 위치를 일방향으로 일치시킨 후, 상기 마스크를 요동시키는 과정;상기 마스크와 상기 기판의 위치를 일방향으로 일치시킨 상태로, 상기 기판을 요동시키는 과정;상기 마스크를 사이에 두고 상기 기판에 대향 배치되는 타겟을 이용하여 상기 기판을 요
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