초록

본 발명은, 도가니의 미세한 온도 제어가 가능하고, 보다 단시간에 도가니의 온도 분포를 최적화하여 균일한 막두께 분포를 갖는 박막을 성막 가능한 증발원 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 증착 재료(1)가 수용되는 도가니(2)에 그 길이 방향을 따라 주(主) 히터(3)를 설치하고, 이 주 히터(3)를 설치한 상기 도가니(2)의 적어도 길이 방향 양단부에 각각 보조 히터(4)를 설치하여, 상기 도가니(2)의 길이 방향 양단부를 상기 주 히터(3) 및 보조 히터(4)로 가열 제어할 수 있도록 구성한다.

대표청구항

증착 재료가 수용되는 도가니에 그 길이 방향을 따라 주(主) 히터를 설치하고, 이 주 히터를 설치한 상기 도가니의 적어도 길이 방향 양단부에 각각 보조 히터를 설치하여, 상기 도가니의 길이 방향 양단부를 상기 주 히터 및 보조 히터로 가열 제어할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 증발원 장치.

증착 재료가 수용되는 도가니에 그 길이 방향을 따라 주(主) 히터를 설치하고, 이 주 히터를 설치한 상기 도가니의 적어도 길이 방향 양단부에 각각 보조 히터를 설치하여, 상기 도가니의 길이 방향 양단부를 상기 주 히터 및 보조 히터로 가열 제어할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 증발원 장치.