초록

진공 챔버에서 기판 상에 재료를 증착하기 위한 재료 증착 장치가 설명된다.재료 증착 장치는, 마스크 이송 트랙 ―마스크 이송 트랙의 적어도 일부분은 진공 챔버에 제공되고, 마스크 이송 트랙은, 마스크 프레임 및 마스크를 갖는 마스크 조립체를 홀딩하기 위한 마스크 캐리어를 지지하도록 구성됨―; 마스크 조립체를 지지하도록 구성된 마스크 스테이지; 및 마스크 스테이지에 커플링되며, 본질적으로 수직 배향으로의 마스크 조립체의 핸드오버 또는 이송을 위해 구성된 홀딩 디바이스를 포함한다.

대표청구항 ▼

진공 챔버에서 기판 상에 재료를 증착하기 위한 재료 증착 장치로서,마스크 이송 트랙 ―상기 마스크 이송 트랙의 적어도 일부분은 상기 진공 챔버에 제공되고, 상기 마스크 이송 트랙은, 마스크 프레임 및 마스크를 갖는 마스크 조립체를 홀딩하기 위한 마스크 캐리어를 지지하도록 구성됨―;마스크 조립체를 지지하도록 구성된 마스크 스테이지; 및상기 마스크 스테이지에 커플링되며, 본질적으로 수직 배향으로의 상기 마스크 조립체의 핸드오버(handover) 또는 이송을 위해 구성된 홀딩 디바이스를 포함하는,진공 챔버에서 기판 상에 재료를 증착하기

진공 챔버에서 기판 상에 재료를 증착하기 위한 재료 증착 장치로서,마스크 이송 트랙 ―상기 마스크 이송 트랙의 적어도 일부분은 상기 진공 챔버에 제공되고, 상기 마스크 이송 트랙은, 마스크 프레임 및 마스크를 갖는 마스크 조립체를 홀딩하기 위한 마스크 캐리어를 지지하도록 구성됨―;마스크 조립체를 지지하도록 구성된 마스크 스테이지; 및상기 마스크 스테이지에 커플링되며, 본질적으로 수직 배향으로의 상기 마스크 조립체의 핸드오버(handover) 또는 이송을 위해 구성된 홀딩 디바이스를 포함하는,진공 챔버에서 기판 상에 재료를 증착하기 위한 재료 증착 장치.