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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0125341 (2018-10-19) | |
공개번호 | 10-2020-0044500 (2020-04-29) | |
등록번호 | 10-2501855-0000 (2023-02-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180125341 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-04-05) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
트랩장치 및 이를 구비하는 반도체 제조설비가 개시된다. 트랩장치는 외부로부터 분리되는 내부공간을 구비하고 제1 및 제2 유동라인을 상기 내부공간에 각각 연결하는 입구 및 출구를 구비하는 하우징, 하우징의 내측면에 고정되어 바닥부로 경사지게 연장하고 제1 유동라인으로부터 전송된 반도체 제조공정의 배출물질로부터 고상 부산물을 포획하여 하부에 파우더를 형성하는 포획기 및 하우징의 상단부에 배치되어 플라즈마 공정에 의해 파우더를 기체 상태로 분해하여 기상 부산물을 생성하는 플라즈마 생성기를 포함한다. 고상 불순물을 기화시켜 기상 불순물로
외부로부터 분리되는 내부공간을 구비하고 제1 및 제2 유동라인을 상기 내부공간에 각각 연결하는 입구 및 출구를 구비하는 하우징;상기 하우징의 내측면에 고정되어 바닥부로 경사지게 연장하고 상기 제1 유동라인으로부터 전송된 반도체 제조공정의 배출물질로부터 고체상태의 공정 부산물인 고상 부산물을 포획하여 하부에 파우더를 형성하는 포획기; 및상기 하우징의 상단부에 배치되어 플라즈마 공정에 의해 상기 파우더를 기체 상태로 분해하여 기체 상태의 공정 부산물인 기상 부산물을 생성하는 플라즈마 생성기를 포함하고,상기 포획기는,상기 내측면으로부터
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