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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0089164 (2016-07-14) | |
등록번호 | 10-1673368-0000 (2016-11-01) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160089164 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-07-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 반도체 공정에서 사용한 공정가스 내의 반응물을 콜드트랩 방식으로 포집하는 기술로서, 반도체 공정챔버로부터 사용하고 남은 공정가스가 최종말단의 스크러버에 도달하기 전에 반도체 공정챔버와 스크러버의 중간에서 미리 공정가스의 반응물을 효율적으로 포집함으로써 스크러버의 PM주기나 내구성을 향상시키도록 하는 기술이다.이를 위해, 반도체 공정챔버와 스크러버 사이에 배관으로 연결되는 콜드트랩 장치의 구성을 개선하여 반도체 공정챔버로부터 인입된 공정가스 내의 반응물 포집율을 향상시킴과 아울러 그 콜드트랩 장치의 제작 및 정비가 간편하도
쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 튜브 형태의 아우터 콜드하우징(100);외벽이 상기 아우터 콜드하우징의 내벽과 소정 거리 이격되도록 상기 아우터 콜드하우징의 내측에 배치되며 쿨링에 의해 몸체의 낮은 온도를 유지하는 속이 빈 공간(이하, '제 1 콜드영역'이라 함)을 형성하는 튜브 형태로 이루어지고, 몸체의 길이방향을 따라 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 형성하도록 복수 개의 이너 격벽(210)이 몸체의 둘레방향을 따라 다단으로 형성되며, 냉매가 몸체의 길이방향을 따라 상기 다단으로 구획된 속이 빈 영역을 소통하도록
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