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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0138489 (2018-11-12) | |
공개번호 | 10-2020-0054778 (2020-05-20) | |
등록번호 | 10-2150451-0000 (2020-08-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180138489 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
증착량 측정이 용이한 선형 증발원 및 이를 포함하는 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 토출되는 도가니와; 상기 도가니와 연통되도록 하단이 상기 도가니의 상단에 결합되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관의 상측에 길이 방향으로 형성되는 분사용 노즐과, 상기 확산관의 측단에 형성되는 센싱용 노즐관을 구비하는 분사부와; 상기 센싱용 노즐관에 대향하여 배치되어 상기 센싱용 노즐관에서 토출
증발물질이 수용되며 가열에 따라 상기 증발물질이 증발되어 증발입자가 토출되는 도가니와;상기 도가니와 연통되도록 하단이 상기 도가니의 상단에 결합되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관의 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관의 상측에 길이 방향으로 형성되는 분사용 노즐과, 상기 확산관의 측단에 형성되는 센싱용 노즐관을 구비하는 분사부와;상기 센싱용 노즐관에 대향하여 배치되어 상기 센싱용 노즐관에서 토출되는 증발입자의 증착량을 측정하는 센싱부와;일단에 상기 센싱용 노즐관이 삽입되고 타단이 상기 센싱부를 향하여
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