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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0149003 (2018-11-27) | |
공개번호 | 10-2020-0014168 (2020-02-10) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-144097 (2018-07-31) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180149003 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 공개 |
[과제] 제1 선상 부재와 제2 선상 부재가 얽혀거나, 이들과 회전대와의 접속부에 지장을 초래하는 것 등을 억제한다. [해결 수단] 챔버의 저판(11)에 형성된 장착 구멍(11a)의 위치에 고정되는 고정대(110)와, 고정대(110)에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대(120)와, 회전대(120)에 구비되는 복수의 증발원 유닛(150)과, 관통공(210)을 통과하도록 설치되는 복수의 제1 배관(L11)이 접속되는 복수의 제1 접속부(160)와, 관통공(210)을 통과하도록 설치되는 복수의 제1 배선(L21)이 접속되는 복수의 제2
내부가 감압 분위기가 되도록 구성되는 챔버의 저판에 형성된 장착 구멍의 위치에 고정되는 고정대와,상기 고정대에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대와,적어도 도가니와, 해당 도가니를 가열하는 히터와, 상기 도가니를 냉각하는 냉각 수단을 각각 갖고, 상기 회전대에 구비되는 복수의 증발원 유닛과,상기 챔버가 설치되는 플로어의 플로어 아래에 설치된 제1 장치로부터 연장하고, 상기 플로어에 형성된 관통공을 통과하도록 설치되는 적어도 하나의 제1 선상 부재가 접속되는 적어도 하나의 제1 접속부와,상기 플로어 아래에 설치된 제2 장치로부터 연장
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