초록 ▼

본 발명은, 증착 중의 열 변형을 방지하여 고정밀도로 원하는 패턴으로 성막 가능한 진공 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.증착실(1)에, 마스크를 통해 기판에 증착을 행하는 증발원(2)과, 증착을 행할 때에 상기 증발원(2)을 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는 증발원 이동 기구 또는 증착을 행할 때에 상기 기판을 상기 증발원에 대하여 상대적으로 이동시키는 기판 이동 기구를 설치한 진공 증착 장치로서, 상기 기판에 대한 증착을 시작하기 전에, 상기 증발원(2)을 이용하여 상기 마스크의 사전 가열을 행하도록 상기 증발원

본 발명은, 증착 중의 열 변형을 방지하여 고정밀도로 원하는 패턴으로 성막 가능한 진공 증착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.증착실(1)에, 마스크를 통해 기판에 증착을 행하는 증발원(2)과, 증착을 행할 때에 상기 증발원(2)을 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동시키는 증발원 이동 기구 또는 증착을 행할 때에 상기 기판을 상기 증발원에 대하여 상대적으로 이동시키는 기판 이동 기구를 설치한 진공 증착 장치로서, 상기 기판에 대한 증착을 시작하기 전에, 상기 증발원(2)을 이용하여 상기 마스크의 사전 가열을 행하도록 상기 증발원 이동 기구 또는 상기 기판 이동 기구를 구성한다.

대표청구항 ▼

마스크를 통하여 기판을 향해 성막 재료를 방출하는 증발원과,상기 기판을 상기 증발원으로부터 차폐하는 제1 위치와, 상기 기판을 상기 증발원에 대해 노출하는 제2 위치로 이동하는 셔터와,상기 증발원과 상기 기판 중 적어도 한쪽을 다른 쪽에 대해 상대적으로 이동시키는 이동 수단과,상기 기판과 상기 마스크의 위치 맞춤을 행하는 얼라이먼트 수단을 구비하고,상기 얼라이먼트 수단이 상기 위치 맞춤을 행하고 있는 동안에, 상기 증발원이 상기 성막 재료를 가열하여 방출하며 상기 셔터가 상기 제1 위치에 있는 상태에서, 상기 증발원에 상기 기판의

마스크를 통하여 기판을 향해 성막 재료를 방출하는 증발원과,상기 기판을 상기 증발원으로부터 차폐하는 제1 위치와, 상기 기판을 상기 증발원에 대해 노출하는 제2 위치로 이동하는 셔터와,상기 증발원과 상기 기판 중 적어도 한쪽을 다른 쪽에 대해 상대적으로 이동시키는 이동 수단과,상기 기판과 상기 마스크의 위치 맞춤을 행하는 얼라이먼트 수단을 구비하고,상기 얼라이먼트 수단이 상기 위치 맞춤을 행하고 있는 동안에, 상기 증발원이 상기 성막 재료를 가열하여 방출하며 상기 셔터가 상기 제1 위치에 있는 상태에서, 상기 증발원에 상기 기판의 아래를 통과시키도록, 상기 이동 수단이 상기 증발원과 상기 기판을 상대적으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 증착 장치.