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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0010058 (2022-01-24) | |
공개번호 | 10-2022-0017446 (2022-02-11) | |
등록번호 | 10-2464807-0000 (2022-11-03) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-237438 (2017-12-12) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220010058 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-01-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
[과제] 증발원 장치에 있어서, 온도의 저하를 억제하면서, 증착 재료가 통과하는 개구의 위치 제어를 행할 수 있는 증발원 장치를 제공한다.[해결 수단] 증착 재료가 수용되는, 개구를 가지는 용기와, 용기를 가열하는 가열 수단과, 용기와, 가열 수단을 수용하는 수용 부재를 가지는 증발원 장치로서, 수용 부재는, 용기 지지부와, 측면부와, 위치 결정부를 포함하고, 용기 지지부는, 용기의 저부의 외측의 적어도 일부를 지지하고, 위치 결정부는, 측면부로부터 용기에 대해서 봉상 또는 판상으로 돌출하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원
증착 재료가 수용되는, 개구를 가지는 용기와,상기 용기를 가열하는 가열 수단과,상기 용기와 상기 가열 수단을 수용하는 수용 부재를 가지는 증발원 장치로서,상기 수용 부재는, 용기 지지부와, 측면부와, 위치 결정부를 포함하고,상기 용기 지지부는, 상기 용기의 저부의 외측의 일부를 제1 방향으로 지지하는 형상을 갖고,상기 위치 결정부는, 상기 측면부로부터 상기 용기에 대향하여 봉상(棒狀) 또는 판상(板狀)으로 돌출하여 설치되어, 상기 수용 부재에 대한 상기 용기의, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향, 및 상기 제1 방향 및 상기 제
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