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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0029964 (2019-03-15) | |
공개번호 | 10-2020-0110007 (2020-09-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190029964 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 MEMS 가속도 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 MEMS 가속도 센서는 기판과, 상기 기판과 평행하게 배치되는 센서 질량체(proof mass)와, 상기 센서 질량체가 상기 기판의 평면 내 방향의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 장착되도록 하는 앵커를 포함하고, 상기 센서 질량체는 상기 회전축을 기준으로 나누어지는 제1 및 제2 파트를 포함하고, 상기 제1 파트는 상기 제2 파트의 무게와 달라지도록 적어도 일부분이 제거된 것을 특징으로 한다.
기판;상기 기판과 평행하게 배치되는 센서 질량체(proof mass); 및상기 센서 질량체가 상기 기판의 평면 내 방향의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 장착되도록 하는 앵커;를 포함하고,상기 센서 질량체는, 상기 회전축을 기준으로 나누어지는 제1 및 제2 파트를 포함하고,상기 제1 파트는, 상기 제2 파트의 무게와 달라지도록 적어도 일부분이 제거된 것을 특징으로 하는 MEMS 가속도 센서.
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