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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0044897 (2019-04-17) | |
공개번호 | 10-2020-0122085 (2020-10-27) | |
등록번호 | 10-2599186-0000 (2023-11-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190044897 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-11-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 파라데이 상자 및 이를 이용한 플라즈마 식각 방법에 관한 것이다. 구체적으로, 확장부를 포함하는 파라데이 상자를 이용한 플라즈마 식각 방법을 이용하여 특정한 격자 패턴 및 깊이 구배를 갖는 도광판을 형성할 수 있는 파라데이 상자 및 이를 이용한 플라즈마 식각 방법에 관한 것이다.
바닥면, 상기 바닥면과 경사지게 배치되되 메쉬부가 형성된 경사부 및 상기 바닥면은 상기 경사부의 하단부 외측으로 확장 형성된 확장부를 구비하는 파라데이 상자.
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