초록 ▼

웨이퍼 이송 유닛이 제안되며, 상기 웨이퍼 이송 유닛은 센서 모듈(14, 14')의 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 하위 구성요소에 할당된 하나 이상의 센서(12, 12', 12", 32, 32', 38, 38')의 센서 데이터의 등록 및/또는 처리를 위해 구성되는 하나 이상의 데이터 처리 유닛(10)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 웨이퍼 처리 모듈(18)을 포함하며, 웨이퍼 처리 모듈(18) 및/또는 웨이퍼 이송 용기(22)의 로딩 및/또는 언로딩을 위해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(24) 및 웨이퍼 이송 용

웨이퍼 이송 유닛이 제안되며, 상기 웨이퍼 이송 유닛은 센서 모듈(14, 14')의 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 하위 구성요소에 할당된 하나 이상의 센서(12, 12', 12", 32, 32', 38, 38')의 센서 데이터의 등록 및/또는 처리를 위해 구성되는 하나 이상의 데이터 처리 유닛(10)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 웨이퍼 처리 모듈(18)을 포함하며, 웨이퍼 처리 모듈(18) 및/또는 웨이퍼 이송 용기(22)의 로딩 및/또는 언로딩을 위해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(24) 및 웨이퍼 이송 용기(22)를 갖는 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 인터페이스 시스템(20)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 이송 용기 이송 시스템(26) 및/또는 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 처리 로봇(28)을 포함한다.

대표청구항 ▼

웨이퍼 이송 유닛으로서, 상기 웨이퍼 이송 유닛은센서 모듈(14, 14')의 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 하위 구성요소에 할당된 하나 이상의 센서(12, 12', 12", 32, 32', 38, 38')의 센서 데이터의 등록 및/또는 처리를 위해 구성되는 하나 이상의 데이터 처리 유닛(10)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 웨이퍼 처리 모듈(18)을 포함하며, 웨이퍼 처리 모듈(18) 및/또는 웨이퍼 이송 용기(22)의 로딩 및/또는 언로딩을 위해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(24) 및 웨이퍼 이송 용기(22

웨이퍼 이송 유닛으로서, 상기 웨이퍼 이송 유닛은센서 모듈(14, 14')의 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 하위 구성요소에 할당된 하나 이상의 센서(12, 12', 12", 32, 32', 38, 38')의 센서 데이터의 등록 및/또는 처리를 위해 구성되는 하나 이상의 데이터 처리 유닛(10)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 웨이퍼 처리 모듈(18)을 포함하며, 웨이퍼 처리 모듈(18) 및/또는 웨이퍼 이송 용기(22)의 로딩 및/또는 언로딩을 위해 로딩 및/또는 언로딩 스테이션(24) 및 웨이퍼 이송 용기(22)를 갖는 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 인터페이스 시스템(20)을 포함하고, 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 이송 용기 이송 시스템(26) 및/또는 웨이퍼 이송 시스템(16)의 하나 이상의 웨이퍼 처리 로봇(28)을 포함하는 웨이퍼 이송 유닛.