초록 ▼

본 발명은 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 관한 것으로, 보다 상세하게는 음파에 의한 정전용량 변화를 감지할 수 있는 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 관한 것이다.본 발명에 따른 MEMS 캐패시티브 마이크로폰은 기판(100)에 단부가 고정된 지지대(110)에 평면상 내부가 제거된 지지판(120)이 부착되고, 상기 지지판(120)의 엣지 영역에 앵커(130)가 부착되어 있으며, 상기 앵커(130)에 다이아프램(200)을 지지하고 있는 스프링(210)이 연결된 림(220)이 고정되는 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 있어서, 상기 다이아

본 발명은 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 관한 것으로, 보다 상세하게는 음파에 의한 정전용량 변화를 감지할 수 있는 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 관한 것이다.본 발명에 따른 MEMS 캐패시티브 마이크로폰은 기판(100)에 단부가 고정된 지지대(110)에 평면상 내부가 제거된 지지판(120)이 부착되고, 상기 지지판(120)의 엣지 영역에 앵커(130)가 부착되어 있으며, 상기 앵커(130)에 다이아프램(200)을 지지하고 있는 스프링(210)이 연결된 림(220)이 고정되는 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 있어서, 상기 다이아프램(200)의 외부 영역에는 유동전극(300)이 부착되고, 평면상 유동전극(300)의 양측에 일정간격으로 배치된 유동전극(300)을 기준으로 수직으로 편이되어 배치된 고정전극(400)이 연결빔(140)으로 서로 연결되어 지지대(110)에 지지되며, 상기 다이아프램(200)의 내부 영역에는 직경방향과 원주방향으로 연결된 형태, 다각형으로 이루어진 메쉬 형태 중에서 어느 하나의 형태로 이루어진 보강부재(500)가 형성되는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

기판(100)에 단부가 고정된 지지대(110)에 평면상 내부가 제거된 지지판(120)이 부착되고, 상기 지지판(120)의 엣지 영역에 앵커(130)가 부착되어 있으며, 상기 앵커(130)에 다이아프램(200)을 지지하고 있는 스프링(210)이 연결된 림(220)이 고정되는 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 있어서,상기 다이아프램(200)의 외부 영역에는 유동전극(300)이 부착되고, 평면상 유동전극(300)의 양측에 일정간격으로 배치된 유동전극(300)을 기준으로 수직으로 편이되어 배치된 고정전극(400)이 연결빔(140)으로 서로

기판(100)에 단부가 고정된 지지대(110)에 평면상 내부가 제거된 지지판(120)이 부착되고, 상기 지지판(120)의 엣지 영역에 앵커(130)가 부착되어 있으며, 상기 앵커(130)에 다이아프램(200)을 지지하고 있는 스프링(210)이 연결된 림(220)이 고정되는 MEMS 캐패시티브 마이크로폰에 있어서,상기 다이아프램(200)의 외부 영역에는 유동전극(300)이 부착되고, 평면상 유동전극(300)의 양측에 일정간격으로 배치된 유동전극(300)을 기준으로 수직으로 편이되어 배치된 고정전극(400)이 연결빔(140)으로 서로 연결되어 지지대(110)에 지지되며,상기 다이아프램(200)의 내부 영역에는 직경방향과 원주방향으로 연결된 형태, 다각형으로 이루어진 메쉬 형태 중에서 어느 하나의 형태로 이루어진 보강부재(500)가 형성되고,상기 다이아프램(200)의 하부에 유동전극(300) 및 보강부재(500)가 형성된 경우에는, 상기 지지대(110) 및 고정전극(400)은 다이아프램(200)을 기준으로 하측에 위치하는 동시에 상기 유동전극(300)을 기준으로 하측으로 편이되며, 상기 지지판(120)은 지지대(110)의 상부에 부착되고, 상기 지지판(120)의 상부에는 앵커(130)가 부착되며, 상기 고정전극(400)이 연결되는 연결빔(140)의 상부에 받침판(150)이 형성되되 상기 받침판(150)의 상부에는 범프(160)가 형성되는 것을 특징으로 하는 MEMS 캐패시티브 마이크로폰.