초록 ▼

MEMS(micro-electro-mechanical system) 열 센서의 구조 및 MEMS 열 센서를 제조하는 방법이 개시된다.MEMS 열 센서를 제조하는 방법은 제1 및 제2 전극 핑거들을, 제각기, 갖는 제1 및 제2 감지 전극들을 기판 상에 형성하는 단계 및 한 쌍의 제1 전극 핑거들 사이에 직사각형 단면을 갖는 패터닝된 층을 형성하는 단계를 포함한다.제1 및 제2 전극 핑거들은 서로 맞물린 구성으로 형성되고 기판 위쪽에 현수된다.이 방법은 한 쌍의 제1 전극 핑거들 사이에 만곡된 단면을 갖도록 패터닝된 층을 수정하는 단

MEMS(micro-electro-mechanical system) 열 센서의 구조 및 MEMS 열 센서를 제조하는 방법이 개시된다.MEMS 열 센서를 제조하는 방법은 제1 및 제2 전극 핑거들을, 제각기, 갖는 제1 및 제2 감지 전극들을 기판 상에 형성하는 단계 및 한 쌍의 제1 전극 핑거들 사이에 직사각형 단면을 갖는 패터닝된 층을 형성하는 단계를 포함한다.제1 및 제2 전극 핑거들은 서로 맞물린 구성으로 형성되고 기판 위쪽에 현수된다.이 방법은 한 쌍의 제1 전극 핑거들 사이에 만곡된 단면을 갖도록 패터닝된 층을 수정하는 단계, 한 쌍의 제1 전극들에 커플링되도록 만곡된 감지 요소를 수정된 패터닝된 층 상에 형성하는 단계, 및 수정된 패터닝된 층을 제거하는 단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

MEMS(micro-electro-mechanical system) 열 센서를 제조하는 방법으로서,기판 상에 각각 제1 및 제2 전극 핑거(finger)들을 갖는 제1 및 제2 감지 전극들을 형성하는 단계 - 상기 제1 및 제2 전극 핑거들은, 서로 맞물린(interdigitated) 구성으로 형성되고 상기 기판 위에 현수됨(suspended) -;한 쌍의 상기 제1 전극 핑거들 사이에 직사각형 단면을 갖는 패터닝된 층을 형성하는 단계;상기 한 쌍의 상기 제1 전극 핑거들 사이에 만곡된 단면을 갖도록 상기 패터닝된 층을 수정하는 단

MEMS(micro-electro-mechanical system) 열 센서를 제조하는 방법으로서,기판 상에 각각 제1 및 제2 전극 핑거(finger)들을 갖는 제1 및 제2 감지 전극들을 형성하는 단계 - 상기 제1 및 제2 전극 핑거들은, 서로 맞물린(interdigitated) 구성으로 형성되고 상기 기판 위에 현수됨(suspended) -;한 쌍의 상기 제1 전극 핑거들 사이에 직사각형 단면을 갖는 패터닝된 층을 형성하는 단계;상기 한 쌍의 상기 제1 전극 핑거들 사이에 만곡된 단면을 갖도록 상기 패터닝된 층을 수정하는 단계;상기 한 쌍의 상기 제1 전극 핑거들에 커플링되도록 상기 수정된 패터닝된 층 상에 만곡된 감지 요소를 형성하는 단계; 및상기 수정된 패터닝된 층을 제거하는 단계를 포함하는 MEMS 열 센서를 제조하는 방법.