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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0135577 (2020-10-19) | |
등록번호 | 10-2350898-0000 (2022-01-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200135577 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-10-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 멤스 콘덴서 마이크로폰은 베이스 기판, 상기 베이스 기판 위에 위치하는 멤브레인, 상기 멤브레인 위에 위치하는 백플레이트부, 상기 백플레이트부 위에 위치하는 변형 방지부, 상기 멤브레인과 상기 백플레이트부 사이에 위치하는 공기층 및 상기 백플레이트부에서 상기 멤브레인 쪽으로 공기층에 돌출되어 있는 복수 개의 돌기를 포함한다.
베이스 기판;상기 베이스 기판 위에 위치하는 멤브레인;상기 멤브레인 위에 위치하는 백플레이트부;상기 백플레이트부 위에 위치하는 변형 방지부;상기 멤브레인과 상기 백플레이트부 사이에 위치하는 공기층; 그리고상기 백플레이트부에서 상기 멤브레인 쪽으로 공기층에 돌출되어 있는 복수 개의 돌기를 포함하고,상기 백플레이트부는 상기 공기층과 접해 있고, 상기 돌기가 위치하는 제1 백플레이트 및 상기 제1 백플레이트 위에 위치하고 상기 돌기와 연결되어 있는 제2 백플레이트를 포함하고상기 변형 방지부는 상기 제1 백플레이트와 동일한 재료로 이루어져
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