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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2019-0135346 (2019-10-29) | |
| 공개번호 | 10-2021-0050835 (2021-05-10) | |
| 등록번호 | 10-2284879-0000 (2021-07-27) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020190135346 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-10-29) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
구현예에 따른 탄화규소 웨이퍼, 웨이퍼의 제조방법 등은 (0001)면을 기준으로 0 내지 15 도에서 선택된 각도의 오프 앵글을 적용한 웨이퍼의 대상영역을 10 mm 이하의 일정한 간격으로 구분한 복수의 측정점에서 측정한 로킹 커브 곡선에서, 피크 각도의 평균값을 기준으로 평가한 반치폭(full width at half maximum)이 -1.5 내지 1.5 도인 측정점을 95 % 이상 포함하는 결정성이 우수한 잉곳, 웨이퍼, 웨이퍼의 제조방법 등을 제공한다.
(0001)면을 기준으로 0 내지 15 도에서 선택된 각도의 오프 앵글을 적용한 웨이퍼이고,상기 웨이퍼의 중심을 기준으로 상기 웨이퍼의 반지름의 80%인 반지름을 갖는 영역인 대상영역을 포함하고, 상기 대상영역을 10 mm 이하의 일정한 간격으로 구분한 복수의 측정점을 포함하고,상기 측정점에서 측정한 로킹 커브 곡선에서 반치폭이 상기 대상영역의 측정점들의 피크가 갖는 오메가 각도의 평균값을 기준으로 -1.5 내지 1.5 도 이내인 측정점을 95% 이상 포함하고,상기 웨이퍼는 5인치 이상의 직경을 갖는 탄화규소 잉곳으로부터 제조되고,
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