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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0136788 (2019-10-30) | |
공개번호 | 10-2021-0051475 (2021-05-10) | |
등록번호 | 10-2258507-0000 (2021-05-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190136788 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-10-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 수직형 유도가열 증착 장치를 개시한다. 개시된 증착 물질이 내부로 유입되며, 상기 증착 물질을 측면으로 배출하는 노즐본체와, 상기 노즐본체에 탈착 가능하게 구비되며, 내부에 증착을 위한 물질을 수용하는 크루시블과, 상기 노즐본체 및 상기 크루시블을 가열하도록 고주파를 발생하는 유도가열부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 유기발광다이오드(OLED) 제조공정에서 증착 물질을 가열하여 처리 대상물인 기판에 증착할 때 기판을 수직으로 배치한 상태에서 증착할 수 있으므로, 기판이 틀어지거나 휘어지는 것을 방지할
증착 물질이 내부로 유입되어 측면으로 배출하도록 상기 증착 물질을 배출하는 노즐부가 상하로 배열되며, 하단부에 탈착 개구부를 구비하는 노즐본체; 상기 노즐본체에 탈착 가능하게 구비되며, 내부에 증착을 위한 물질을 수용하는 크루시블; 및 상기 노즐본체 및 상기 크루시블을 가열하도록 고주파를 발생하는 유도가열부; 를 포함하며,상기 노즐본체는, 하단부에 상기 크루시블이 탈착 가능하도록 제1탈착 개구부를 구비하며, 측면에 상기 노즐부가 형성되는 내부 하우징; 및상기 내부 하우징을 커버하도록 상기 내부 하우징과 결합되며, 상기 제1탈착 개구
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