초록 ▼

본 발명에 의한 성막 장치는, 기판을 하방에서부터 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판지지부에 지지된 상기 기판을 상방에서부터 흡착하는 흡착면을 갖는 기판 흡착 수단과, 상기 기판의 하방에 위치하는 마스크를 상기 기판의 성막면을 향해 끌어당기는 마스크 흡인 수단으로서, 상기 기판 흡착 수단을 사이에 두고 상기 마스크와는 반대측에 설치되는 상기 마스크 흡인 수단을 갖는 성막 장치로서, 상기 기판 흡착 수단에는, 상기 흡착면과 수직인 방향의 관통부가 형성되고, 상기 마스크 흡인 수단에는, 상기 관통부에 대응하는 위치에 누름핀이 형성되고,

본 발명에 의한 성막 장치는, 기판을 하방에서부터 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판지지부에 지지된 상기 기판을 상방에서부터 흡착하는 흡착면을 갖는 기판 흡착 수단과, 상기 기판의 하방에 위치하는 마스크를 상기 기판의 성막면을 향해 끌어당기는 마스크 흡인 수단으로서, 상기 기판 흡착 수단을 사이에 두고 상기 마스크와는 반대측에 설치되는 상기 마스크 흡인 수단을 갖는 성막 장치로서, 상기 기판 흡착 수단에는, 상기 흡착면과 수직인 방향의 관통부가 형성되고, 상기 마스크 흡인 수단에는, 상기 관통부에 대응하는 위치에 누름핀이 형성되고, 상기 마스크 흡인 수단을 상기 기판 흡착 수단을 향해 이동시킴으로써 상기 관통부를 관통한 상기 누름핀에 의해 상기 기판 지지부에 지지된 기판의 이면을 누르는 것이 가능한 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

기판을 하방에서부터 지지하는 기판 지지부와,상기 기판지지부에 지지된 상기 기판을 상방에서부터 흡착하는 흡착면을 갖는 기판 흡착 수단과,상기 기판의 하방에 위치하는 마스크를 상기 기판의 성막면을 향해 끌어당기는 마스크 흡인 수단으로서, 상기 기판 흡착 수단을 사이에 두고 상기 마스크와는 반대측에 설치되는 상기 마스크 흡인 수단을 갖는 성막 장치로서,상기 기판 흡착 수단에는, 상기 흡착면과 수직인 방향의 관통부가 형성되고,상기 마스크 흡인 수단에는, 상기 관통부에 대응하는 위치에 누름핀이 형성되고, 상기 마스크 흡인 수단을 상기 기판

기판을 하방에서부터 지지하는 기판 지지부와,상기 기판지지부에 지지된 상기 기판을 상방에서부터 흡착하는 흡착면을 갖는 기판 흡착 수단과,상기 기판의 하방에 위치하는 마스크를 상기 기판의 성막면을 향해 끌어당기는 마스크 흡인 수단으로서, 상기 기판 흡착 수단을 사이에 두고 상기 마스크와는 반대측에 설치되는 상기 마스크 흡인 수단을 갖는 성막 장치로서,상기 기판 흡착 수단에는, 상기 흡착면과 수직인 방향의 관통부가 형성되고,상기 마스크 흡인 수단에는, 상기 관통부에 대응하는 위치에 누름핀이 형성되고, 상기 마스크 흡인 수단을 상기 기판 흡착 수단을 향해 이동시킴으로써 상기 관통부를 관통한 상기 누름핀에 의해 상기 기판 지지부에 지지된 기판의 이면을 누르는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 성막 장치.