초록 ▼

[과제] 액체상 또는 고체상의 증착 재료가 기판의 증착면에 도달되는 것을 억제할 수 있는 노즐 유닛, 도가니, 증발원 및 증착 장치를 제공한다.[해결 수단] 노즐부(212)를 갖는 노즐 부재(210)와, 노즐 부재(210)보다도 도가니의 용기 본체의 내부측에 설치되는 중판 부재(220)를 구비하고, 중판 부재(220)는, 증착 재료가 통과하는 복수의 관통 구멍(223c)을 가짐과 함께, 증착 재료에 의해 증착되는 증착면 상의 임의의 위치인 제1 점으로부터, 복수의 관통 구멍(223c) 내의 임의의 위치인 제2 점에 이르는 모든 선분

[과제] 액체상 또는 고체상의 증착 재료가 기판의 증착면에 도달되는 것을 억제할 수 있는 노즐 유닛, 도가니, 증발원 및 증착 장치를 제공한다.[해결 수단] 노즐부(212)를 갖는 노즐 부재(210)와, 노즐 부재(210)보다도 도가니의 용기 본체의 내부측에 설치되는 중판 부재(220)를 구비하고, 중판 부재(220)는, 증착 재료가 통과하는 복수의 관통 구멍(223c)을 가짐과 함께, 증착 재료에 의해 증착되는 증착면 상의 임의의 위치인 제1 점으로부터, 복수의 관통 구멍(223c) 내의 임의의 위치인 제2 점에 이르는 모든 선분은, 노즐 유닛(200)을 구성하는 복수의 부재 중 적어도 어느 하나의 부재에 의해 차단되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

대표청구항

도가니의 용기 본체의 개구부에 장착되는 노즐 유닛으로서,증착 재료를 방출하는 노즐부를 갖는 노즐 부재와,상기 노즐 부재보다도 상기 용기 본체의 내부측에 설치되는 중판 부재를 구비하고,상기 중판 부재는, 증착 재료가 통과하는 복수의 관통 구멍을 가지고,상기 증착 재료에 의해 증착되는 증착면 상의 임의의 위치인 제1 점으로부터, 상기 복수의 관통 구멍 내의 임의의 위치인 제2 점에 이르는 모든 선분은, 노즐 유닛을 구성하는 복수의 부재 중 적어도 어느 하나의 부재에 의해 차단되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.

도가니의 용기 본체의 개구부에 장착되는 노즐 유닛으로서,증착 재료를 방출하는 노즐부를 갖는 노즐 부재와,상기 노즐 부재보다도 상기 용기 본체의 내부측에 설치되는 중판 부재를 구비하고,상기 중판 부재는, 증착 재료가 통과하는 복수의 관통 구멍을 가지고,상기 증착 재료에 의해 증착되는 증착면 상의 임의의 위치인 제1 점으로부터, 상기 복수의 관통 구멍 내의 임의의 위치인 제2 점에 이르는 모든 선분은, 노즐 유닛을 구성하는 복수의 부재 중 적어도 어느 하나의 부재에 의해 차단되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.