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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-7023879 (2015-09-02) | |
공개번호 | 10-2015-0133183 (2015-11-27) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2013-063941 (2013-03-26) | |
국제출원번호 | PCT/JP2014/057071 (2014-03-17) | |
국제공개번호 | WO 2014/156750 (2014-10-02) | |
번역문제출일자 | 2015-09-02 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020157023879 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은, 도가니의 미세한 온도 제어가 가능하고, 보다 단시간에 도가니의 온도 분포를 최적화하여 균일한 막두께 분포를 갖는 박막을 성막 가능한 증발원 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 증착 재료(1)가 수용되는 도가니(2)에 그 길이 방향을 따라 주(主) 히터(3)를 설치하고, 이 주 히터(3)를 설치한 상기 도가니(2)의 적어도 길이 방향 양단부에 각각 보조 히터(4)를 설치하여, 상기 도가니(2)의 길이 방향 양단부를 상기 주 히터(3) 및 보조 히터(4)로 가열 제어할 수 있도록 구성한다.
증착 재료가 수용되는 도가니에 그 길이 방향을 따라 주(主) 히터를 설치하고, 이 주 히터를 설치한 상기 도가니의 적어도 길이 방향 양단부에 각각 보조 히터를 설치하여, 상기 도가니의 길이 방향 양단부를 상기 주 히터 및 보조 히터로 가열 제어할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 증발원 장치.
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