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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0045920 (2020-04-16) | |
공개번호 | 10-2021-0037507 (2021-04-06) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2019-176783 (2019-09-27) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200045920 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
[과제] 용기를 다중으로 둘러싸는 복수의 히터를, 히터끼리 접촉하지 않도록 지지하고, 효율적으로 용기 내의 증착 재료를 가열할 수 있는 증발원 장치, 성막 장치, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법을 제공한다.[해결 수단] 증착 재료가 수용되는 용기와, 상기 용기의 주위에 다중으로 설치되는 복수의 히터를 구비한 증발원 장치에 있어서, 상기 복수의 히터는, 히터선이 나선 형상으로 구성되어 있고, 상기 복수의 히터 중 서로 이웃하는 제1 히터와 제2 히터의 사이에 배치되는 제1 지지 부재를 구비하고, 상기 제1 지지 부재는, 상기
증착 재료가 수용되는 용기와,상기 용기의 주위에 다중으로 설치된 복수의 히터를 구비한 증발원 장치에 있어서,상기 복수의 히터는, 히터선이 나선 형상으로 구성되어 있고,상기 복수의 히터 중 서로 이웃하는 제1 히터와 제2 히터의 사이에 배치되는 제1 지지 부재를 구비하고, 상기 제1 지지 부재는, 상기 제1 히터와 상기 제2 히터 중 일방의 히터의 히터선을 지지하는 제1 히터선 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 증발원 장치.
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