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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-7000380 (2019-01-04) | |
공개번호 | 10-2019-0025609 (2019-03-11) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2016-136336 (2016-07-08) | |
국제출원번호 | PCT/JP2017/024971 (2017-07-07) | |
국제공개번호 | WO 2018/008745 (2018-01-11) | |
번역문제출일자 | 2019-01-04 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197000380 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 공개 |
텅스텐 막과 질화 티타늄 막과를 일괄적으로 에칭할 수 있는 에칭액 조성물 및 상기 에칭액 조성물을 이용한 에칭 방법을 제공한다. 본 발명의 에칭 조성물은 질산과, 물을 포함하고, 텅스텐 막과 질화 티타늄 막과를 일괄적으로 에칭하는 에칭액 조성물이다.
질산과, 물을 포함하여, 텅스텐 막과 질화 티타늄 막과를 일괄적으로 에칭하는 에칭액 조성물.
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