최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2019-7003101 (2019-01-30) | |
공개번호 | 10-2019-0020148 (2019-02-27) | |
등록번호 | 10-2139285-0000 (2020-07-23) | |
국제출원번호 | PCT/KR2016/010941 (2016-09-30) | |
국제공개번호 | WO 2018/062590 (2018-04-05) | |
번역문제출일자 | 2019-01-30 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197003101 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2019-01-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기상 증착을 통하여 박막 증착이 가능한 유기금속 화합물에 관한 것으로서, 구체적으로는 원자층 증착법(Atomic Layer Deposition, ALD) 또는 화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD)에 적용 가능한 Co 또는 Fe 전구체 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
하기 화학식 1로 표시되는 유기금속 화합물:[화학식 1]상기 화학식 1에서,M은 Co 또는 Fe이고,R1, R2 및 R3는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 4의 선형 또는 분지형 알킬기이며,R4 및 R5는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 4의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 Si(R6R7R8)이고,상기 R6 내지 R8은 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 4의 선형 또는 분지형 알킬기이다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.