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[한국특허] 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • B08B-003/12
  • H01L-021/304
출원번호 10-2019-7025450 (2019-08-29)
공개번호 10-2019-0113878 (2019-10-08)
등록번호 10-2265639-0000 (2021-06-10)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2017-206352 (2017-10-25)
국제출원번호 PCT/JP2018/030784 (2018-08-21)
국제공개번호 WO 2019/082483 (2019-05-02)
번역문제출일자 2019-08-29
DOI http://doi.org/10.8080/1020197025450
발명자 / 주소
  • 오하타 게이스케 / 일본국 ******* 도쿄도 하무라시 사카에쵸 *쵸메 *반 *고
  • 사카모토 노리유키 / 일본국 ******* 도쿄도 하무라시 사카에쵸 *쵸메 *반 *고
출원인 / 주소
  • 가부시끼가이샤가이죠 / 일본도오꾜도하무라시사까에죠*-*-*
대리인 / 주소
  • 특허법인 아이퍼스
심사청구여부 있음 (2019-08-29)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

유리 기판 등의 반도체 기판이나 가요성 필름 등의 대형의 피세정물의 세정이 가능하고, 라인 샤워형 및 호른형의 초음파 세정 장치의 기능을 구비하고, 사용하는 세정액을 대폭 저감하여 액 절약화가 가능한 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 시스템을 제공한다. 피세정물에 대해 대향해서 마련된 경사면을 이루는 저면을 갖고. 내부 하면에 초음파 진동자를 배치한 하우징과, 하우징 저면에 세정액을 공급하는 액막 형성 수단으로서의 세정액 공급 장치와, 액막 형성 수단으로서의 세정액 공급 장치로부터의 세정액의 유속을 가속하여 세정액을 분출하는 유속

대표청구항 ▼

초음파 진동자가 내부 저면에 마련되고 해당 초음파 진동자에 의해서 초음파 진동이 인가되는 저면이 마련된 하우징과,상기 하우징의 한쪽의 측면에 부착되고, 세정액을 공급하는 세정액 공급부로부터의 세정액을 유속 가속부에 의해 가속하여 상기 하우징 저면의 일단측에서 해당 저면을 향해 세정액을 분출하고, 상기 세정액을 상기 하우징 저면을 따라 유동시키는 것에 의해, 상기 하우징 저면에 액막을 형성하는 액막 형성 수단과, 상기 하우징 저면의 타단측에 마련되고, 상기 하우징 저면을 유동하는 세정액을 상기 하우징 저면의 아래쪽에 위치하는 피세정물

이 특허에 인용된 특허 (4) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. [한국] 대면적 패널용 초음파 세정장치 | 이희명, 김정인, 조경목, 박희진
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  2. [일본] CLEANER | YASUTAKE KENJI, TADERA TAKAMITSU
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  3. [일본] WASHING DEVICE AND WASHING METHOD | HORIUCHI NOBUO
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  4. [일본] ULTRASONIC CLEANING APPARATUS | KITAGAWA KENICHI, YONEDA HISAFUMI
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