최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2019-7027005 (2019-09-16) | |
공개번호 | 10-2019-0119096 (2019-10-21) | |
등록번호 | 10-2536795-0000 (2023-05-22) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/458,631 (2017-02-14) | |
국제출원번호 | PCT/EP2018/053724 (2018-02-14) | |
국제공개번호 | WO 2018/149894 (2018-08-23) | |
번역문제출일자 | 2019-09-16 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197027005 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2021-02-02) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 캐소드 아크 증발에 의해 캐소드를 증발시키는 방법에 관한 것으로, 아크의 중심 스폿은, 시간적 및 공간적으로 제어 가능한 자기장에 의해 캐소드 표면상의 사전 결정된 트랙에서 이동하도록 강요되며, 캐소드 표면의 사전 결정된 재료의 제거가 생성된다. 본 발명은 또한, 본 발명에 따른 방법을 수행하는 장치에도 관련된다.
진공 챔버에서 캐소딕 아크 증발 공정을 통해 캐소드를 증발시키는 방법으로, 진공 챔버 내에서 아크가 점화되고 아크의 아크 스폿이 안내 자기장에 의해 증발 캐소드 표면 상의 사전 정의된 트랙에서 이동하게 되며, 적어도 하나의 내측 자기장 및 하나의 외측 자기장을 생성하기 위해 진동 챔버의 내부에 있는 내측 자성 수단과 진동 챔버의 외부에 있는 외측 자성 수단이 사용되며, 안내 자기장은 자기장들의 상호 작용에 의해 생성되는 터널-형 안내 자기장인, 캐소드 증발 방법에 있어서, 터널-형 안내 자기장은 변화될 수 있고, 캐소딕 아크 증발
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.