초록

본 발명은, 캐소드 아크 증발에 의해 캐소드를 증발시키는 방법에 관한 것으로, 아크의 중심 스폿은, 시간적 및 공간적으로 제어 가능한 자기장에 의해 캐소드 표면상의 사전 결정된 트랙에서 이동하도록 강요되며, 캐소드 표면의 사전 결정된 재료의 제거가 생성된다. 본 발명은 또한, 본 발명에 따른 방법을 수행하는 장치에도 관련된다.

대표청구항 ▼

진공 챔버에서 캐소딕 아크 증발 공정을 통해 캐소드를 증발시키는 방법으로, 진공 챔버 내에서 아크가 점화되고 아크의 아크 스폿이 안내 자기장에 의해 증발 캐소드 표면 상의 사전 정의된 트랙에서 이동하게 되며, 적어도 하나의 내측 자기장 및 하나의 외측 자기장을 생성하기 위해 진동 챔버의 내부에 있는 내측 자성 수단과 진동 챔버의 외부에 있는 외측 자성 수단이 사용되며, 안내 자기장은 자기장들의 상호 작용에 의해 생성되는 터널-형 안내 자기장인, 캐소드 증발 방법에 있어서, 터널-형 안내 자기장은 변화될 수 있고, 캐소딕 아크 증발

진공 챔버에서 캐소딕 아크 증발 공정을 통해 캐소드를 증발시키는 방법으로, 진공 챔버 내에서 아크가 점화되고 아크의 아크 스폿이 안내 자기장에 의해 증발 캐소드 표면 상의 사전 정의된 트랙에서 이동하게 되며, 적어도 하나의 내측 자기장 및 하나의 외측 자기장을 생성하기 위해 진동 챔버의 내부에 있는 내측 자성 수단과 진동 챔버의 외부에 있는 외측 자성 수단이 사용되며, 안내 자기장은 자기장들의 상호 작용에 의해 생성되는 터널-형 안내 자기장인, 캐소드 증발 방법에 있어서, 터널-형 안내 자기장은 변화될 수 있고, 캐소딕 아크 증발 공정의 수행 중에 적어도 2개의 서로 다른 안내 자기장(M1, M2)이 생성되며, 상기 방법은, - 제1 이동 시간(t1) 동안, 증발될 캐소드 표면상의 제1 트랙에서 아크의 아크 스폿을 안내하기 위해 사용되는 제1 터널-형 안내 자기장(M1)을 생성하는 단계로, 길이(L1)를 갖는 제1 부식 경로(W1)가 캐소드 표면의 제1 영역에 생성되고, 제1 이동 시간(t1)은 아크가 제1 부식 경로(W1)의 완전한(complete) 길이(L1)를 한번 이동하는 데에 필요한 시간에 대응하는, 제1 터널-형 안내 자기장 생성 단계;- 제2 이동 시간(t2) 동안, 증발될 캐소드 표면상의 제2 트랙에서 아크의 아크 스폿을 안내하기 위해 사용되는, 제1의 것과는 다른 제2 터널-형 안내 자기장(M2)을 조절하기 위해, 제1 안내 자기장의 특성을 변경하는 단계로, 길이(L2)를 갖는 제2 부식 경로(W2)가 캐소드 표면의 제2 영역에 생성되고, 제2 이동 시간(t2)은 아크가 제2 부식 경로(W2)의 완전한 길이(L2)를 한번 이동하는 데에 필요한 시간에 대응하는, 제1 안내 자기장의 특성 변경 단계;- 캐소딕 아크 증발 공정을 수행하는 단계로, 캐소딕 아크 증발 공정의 총지속 시간(ttot) 중에, 스위치-온 시간(ton1) 동안 제1 안내 자기장(M1)이 조절되고, 스위치-온 시간(ton2) 동안 제2 안내 자기장(M2)이 조절되며, ton1≥t1, ton2≥t2, 및 tTot≥ton1+ton2이고, t1 및 t2는 수초 내지 수분동안 계속되는(last), 캐소딕 아크 증발 공정 수행 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 캐소드 증발 방법.